【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及涂覆，特别涉及根据独立权利要求中的各自前序部分的涂覆方法及装置。
技术介绍
涂覆通常是指其中将固态的涂覆物质层沉积在基板上的方法。在许多工业相关应用中，涂覆层是非常薄的，且典型地其厚度在若干分之一纳米(单层)至若干个微米。—种广为人知的涂覆方法是基于化学气相沉积(chemical vapordeposition, CVD)反应，其中将基板暴露于一个或多个气相化学前体，该气相化学前体在 基板表面发生反应和/或分解以产生沉积层。已知演变的CVD方法为气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)，其中将液态前体溶液雾化成为分布于整个气态介质中的气溶胶液滴(aerosol droplets)。将形成的气溶胶传输到加热区中，液滴在加热区中经历急速气化(vaporization)和/或分解并形成升高的温度下的前体蒸气。然后气化的前体可经过一次或多次各类的分解和/或化学反应，从而形成想得到的层结构。AACVD方法通常实施于定义的方法空间例如反应室中，将气溶胶液滴和气态介质引入其中。因此可良好地定义方法空间的体积和压力，所以通过控制温度和液滴浓度，通常可调整液滴的气化使其...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.20 FI 201054231.一种涂覆基板⑷的表面⑶的方法，所述方法包括 形成液态涂覆混合物，所述液态涂覆混合物包含至少一种在所述基板(4)的表面(3)上反应用于形成涂层的前体； 将所述涂覆混合物雾化为液滴(11); 朝着所述基板(4)的表面(3)传输所述液滴(11)，使得所述至少一种前体在所述基板(4)的表面(3)上反应； 其特征在于 将液态载体物质混合至所述混合物，其中所述液态载体物质不是前体，并且所述液态载体物质的沸点低于所述前体的沸点。2.如权利要求I的方法，其特征在于 在所述液态混合物中包含两种或更多种所述涂覆方法的前体； 将所述液态载体物质混合至所述混合物中，所述液态载体物质的沸点低于任何所述前体的沸点。3.如权利要求I或2的方法，其特征在于在液滴(11)碰撞到所述基板(4)的表面(3)之前，使来自液滴(11)的液态载体物质气化。4.如权利要求3的方法,其特征在于朝着所述基板⑷的表面(3)传输液滴(11)，使得液滴(11)碰撞到所述基板⑷的表面⑶，以提供在所述基板⑷的表面⑶上的涂层。5.如权利要求3的方法，其特征在于首先使来自液滴(11)的液态载体物质气化，和然后使来自液滴(11)的至少一种前体气化。6.如权利要求3的方法,其特征在于朝着所述基板⑷的表面(3)传输液滴(11)，使得液滴(11)在碰撞到所述基板(4)的表面(3)之前气化，以通过化学气相沉积在所述基板(4)的表面(3)上提供涂层，或在至少一种前体在所述基板(4)的表面(3)上反应之前气化，以通过化学气相沉积在所述基板(4)的表面(3)上提供涂层。7.如权利要求1-6任一项的方法,其特征在于在液滴(11)朝着所述基板(4)的表面(3)传输期间将其加热，以气化所述液态载体物质、或所述液态载体物质和所述至少一种前体。8.如权利要求7的方法，其特征在于通过加热所述基板(4)或至少所述基板(4)的表面层使来自液滴(11)的所述液态载体物质或所述液态载体物质和所述至少一种前体气化从而使所述基板(4)提供气化所需的热能。9.如权利要求7或8的方法，其特征在于调整所述液滴(11)在朝着基板(4)的表面(3)的传输中的加热，以调整所述液态载体物质的气化、或所述液态载体物质和所述至少一种前体的气化。10.如权利要求1-11任一项的方法，其特征在于调整所述液态载体物质在所述液态涂覆混合物中或在所述液滴(11)中的浓度，以调整所述液态载体物质、或所述液态载体物质和所述至少一种前体的气化。11.如权利要求1-10任一项的方法，其特征在于调整液滴(11)的气化使得其中所述前体或所有前体基本为气态形式的区域在距离所述基板(4)的表面(3)5毫米的范围内。12.如权利要求11的方法，其特征在于联合地调整所述方法空间的压力、气化热及所述混合物中物质的组成使得其中所述前体或所有前体基本为气态形式的区域在距离基板(4)的表面(3)5毫米的范围内。13.如权利要求11或12的方法，其特征在于所述区域延伸至距离所述基板(4)的表面(3)3毫米。14.如权利要求1-13任一项的方法，其特征在于测量从所述液滴(11)形成的雾的性质。15.如权利要求14的方法，其特征在于调整下列的一个或多个用来基于测量的雾的性质调整所述液滴(11)的气化所述液滴(11)的加热、所述液态载体物质在所述液态涂覆混合物或在所述液滴(11)中的浓度、或在所述方法空间中的压力。16.如权利要求1-13任一项的...
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