一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法技术

一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法，涉及一种非晶包覆超细纳米晶的复合涂层材料。提供反应磁控溅射沉积与退火处理相结合，制备出的材料包覆程度可控、厚度可控的一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法。基体预处理；反应溅射沉积热力学非稳定态ZrAlN先驱体膜材料；对ZrAlN先驱体膜材料进行退火处理。通过各种工艺参数控制，制备出包覆程度可控、厚度可控的非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种非晶包覆超细纳米晶的复合涂层材料，尤其是涉及一种在硬质合金基体材料表面利用亚稳态ZrAlN先驱体膜材料制备出包覆程度可控、厚度可控的非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的方法。
技术介绍
ZrO2是一种重要的结构材料与功能材料( S. Somiya, N. Yamamoto, H.Yanagina. ‘Science and Technology of Zirconia III’ , in Advances inCeramics, American Ceramic Society, Westerville, OH, 1988, vols. 24A and24B. X ZrO2具有优异的物理、化学性质。硬度大，耐高温，介电系数大，耐酸碱腐蚀性能强，耐磨损性能优异，常常作为切削刀具保护材料，特别是在高温工作条件下，但是也存在着脆性大的问题 ( Journal American Ceramic Society, 70 (1987) 689)。研究发现,应力诱导相变机制以及微裂纹尖端能量吸收机制可以成为ZrO2陶瓷材料增韧的重要方法，亚稳态的四方相ZrO2成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1）基体预处理；2）反应溅射沉积热力学非稳定态ZrAlN先驱体膜材料；3）对ZrAlN先驱体膜材料进行退火处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王周成，吴正涛，祁正兵，刘滨，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：