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一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法技术
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一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方法,涉及一种非晶包覆超细纳米晶的复合涂层材料。提供反应磁控溅射沉积与退火处理相结合,制备出的材料包覆程度可控、厚度可控的一种非晶Al2O3包覆超细纳米晶ZrO2复合涂层材料的制备方...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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