【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种制备高纯氨的方法,尤其是涉及一种。
技术介绍
现代微电子和光电子等工业的发展对氮化物特别是氮化镓(GaN)和氮化硅(Si3N4)提出了更高的质量要求。这些氮化物是在高温下由高纯氨参与的化学反应而生成。为了合成高质量的氮化物中,必须要使用高纯度的氨气(高纯氨),高纯氨的纯度至少在99. 999% (5N),通常要达到99. 9999% (6N)甚至99. 99999% (7N),因为氨气的纯度对上述工业有着极为显著的影响,比如在氮化娃的制备中,如果氨气中含有50ppm的水或氧,就不会生成Si3N4而只会生成氧化硅SiO2 ;又如在MOCVD中,如果氨气中含有3ppm的水或氧,其制 备的外延片的发光波长将无法控制。其中氨合成的这一步涉及一个比较简单的化学反应体系,其反应方程式如下SH2 + N2.............................................. 2Mf3 , Δ H=-46. 22kJ/mol.该平衡体系仅涉及NH3、N2和H2三种物质。由于这是一个可逆反应,所以在工业生产中通常采用哈勃(Haber)循环工 ...
【技术保护点】
极低压条件下制备高纯氨的方法,包括如下步骤:1)取高纯的氢氮原料气,氢氮原料纯度达到99.999%~99.9999999%;2)将高纯的氢氮原料气输送到合成氨塔中合成高纯氨;所述氢氮混合气中的氢气和氮气的摩尔比为3:1;其特征在于:所述步骤2)中,压力条件为4~7MPa,温度条件为300~400℃;催化剂采用在200~400℃具有良好的活性的催化剂。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:鲍坚仁,鲍坚斌,
申请(专利权)人:湖南高安新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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