【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气体中杂质的检测方法,特别涉及一种。
技术介绍
电子级超纯氨是一种非常重要的新型光电子材料,也是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。在生产制造发光二极管(LED)、平板显示器(FPD)、半导体和多晶硅太阳能电池片过程中有着广泛的用途。尤其LED芯片在生长过程中,超高纯氨气被用于金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)外延生长过程中,它与金属有机物的前驱物三甲基镓(Ga(CH3)3)在高温高压下发生化学反应生成氮化镓 Ga (CH3) 3 (g) +NH3 (g) — GaN (s) +3CH4 (g) 因此,所用氨气的纯度越高,制备的蓝光LED功耗越小,发光强度越大,使用寿命越长。所以说7N电子级超纯氨是LED晶体制造领域重要的上游关键配套材料,对其纯度的控制是产业链发展中的一个重要环节,直接决定着LED行业的发展。高纯氨、超纯氨的过氧化物含量最为气体产品质量的一个主要指标,已经受到人们的大力关注与重视。但在国内现有技术中,关于氨的标准中,均未提及对过氧化物含量的监控和检测。而研究表明超纯氨、高纯氨中过氧化物与Ga(CH3) 3很容易生 ...
【技术保护点】
一种检测高纯氨及超纯氨中过氧化物含量的方法,其特征是本方法是通过如下工艺步骤实现的:1)样品溶液的制备:直接将高纯/或超纯氨通入到装有水的容量瓶中溶解,容量瓶中的水为实验室一级水,利用前后质量差记录通入氨气的质量;2)测算滴定样品溶液消耗的Na2S2O3?溶液的体积:在碘量瓶中装100ml实验室一级水,然后按步骤1)制备样品溶液并将该装有样品溶液的碘量瓶放在60℃水浴上加热,10分钟后加入50mL?94%的冰醋酸和0.20±0.1克氟化钠;5分钟后再加入6.0克±0.1克碘化纳并持续加热25分钟,然后用50mL的蒸馏水清洗碘量瓶的瓶口及瓶颈处并放置冷却至实验室温度;将滴定管 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:金向华,王海,王磊,
申请(专利权)人:苏州金宏气体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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