利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置及其方法制造方法及图纸

利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置，包括过滤器、氨分解装置、第一纯化器、增压泵、第二纯化器和高纯氨合成装置；所述氮化物反应器通过第一管道与过滤器连接，所述过滤器通过第二管道与氨分解装置连接，所述氨分解装置通过第三管道与第一纯化器连接，所述第一纯化器通过第四管道与增压泵连接，所述增压泵通过第五管道与第二纯化器连接，所述第二纯化器通过第六管道与高纯氨合成装置连接。本发明专利技术绿色环保，节能效果显著，生产过程安全，降低了生产成本且产品质量稳定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种含氨尾气再生制备高纯氨的装置及其方法，尤其是涉及一种。
技术介绍
用于制造发光二极管(LED)外延芯片的氮化镓有机金属气相沉积(MOCVD)设备需要使用大量的高纯氨气，它与含镓的有机金属物(如三甲基镓或三乙基镓等，以下以三甲基镓为例进行描述)反应生成氮化镓，而氮化镓是制造LED的主要半导体材料，其反应方程式如下 权利要求1.利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置，其特征在于，过滤器、氨分解装置、第一纯化器、增压泵、第二纯化器和高纯氨合成装置； 所述过滤器通过第二管道与氨分解装置连接，所述氨分解装置通过第三管道与第一纯化器连接，所述第一纯化器通过第四管道与增压泵连接，所述增压泵通过第五管道与第二纯化器连接，所述第二纯化器通过第六管道与高纯氨合成装置连接。2.根据权利要求I所述的装置，其特征在于优选地，所述装置还包括氮化物反应器，所述氮化物反应器通过第一管道与过滤器连接，所述高纯氨合成装置通过第七管道与氮化物反应器连接。3.根据权利要求I或2所述的装置，其特征在于优选地，在连接增压泵和第二纯化器之间的第五管道上，依次设有氢氮气缓冲罐、氢氮比实时监测装置。4.根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置，其特征在于，过滤器、氨分解装置、第一纯化器、增压泵、第二纯化器和高纯氨合成装置；所述过滤器通过第二管道与氨分解装置连接，所述氨分解装置通过第三管道与第一纯化器连接，所述第一纯化器通过第四管道与增压泵连接，所述增压泵通过第五管道与第二纯化器连接，所述第二纯化器通过第六管道与高纯氨合成装置连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鲍坚仁，鲍坚斌，
申请(专利权)人：湖南高安新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：