本实用新型公开了一种处理缓冲氧化物刻蚀液的装置，其包括：反应釜、压滤机和综合调节池；其中，所述反应釜中包含有进料口、废气排放口和液固排放口；所述压滤机中包含有入口、固体排放口和液体排放口；所述综合调节池中包含有入口、第一出口、第二出口；...

本实用新型公开了利用MOCVD尾气制氢的装置，该装置包含：气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置；其中，所述气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器和气体二次纯化装置依次连接。该装置结构简单，...

本实用新型公开了利用MOCVD尾气联产高纯氢和高纯氨的装置，该装置包含：氨分解炉、第一气体压缩机、第一变温吸附净化设备、第一变压吸附提氢器、第二变压吸附提氢器、第二气体压缩机、第二变温吸附净化设备、纯化器、氨合成塔、氨分离设备；所述氨分...

本实用新型公开了利用氢氮混合气制备高纯氨的装置，该装置包含：气体压缩机、分子筛吸附器、净化器、氨合成塔、氨分离设备和精馏塔；所述气体压缩机、分子筛吸附器、净化器、氨合成塔、氨分离设备和精馏塔依次连接。该装置可用于以氢氮混合气为原料合成获...

极低压条件下制备高纯氨的方法，包括如下步骤：1)取高纯的氢氮原料气，氢氮原料纯度达到99.999％～99.9999999％；2)将高纯的氢氮原料气输送到合成氨塔中合成高纯氨；所述步骤2)中，压力条件为4～7MPa，温度条件为300～40...

本实用新型公开一套用MOCVD尾气制氢的装置，该制氢装置包含：用于将含氢的尾气分解为氢氮混合气的分解炉，用于除去氢氮混合气中杂质同时含有可再生吸附剂的变温吸附设备，用于将除杂后的氢氮混合气中的氢气浓缩提纯同时产生高压逆放气、低压逆放气的...

本发明公开一套用MOCVD尾气制氢的装置，该制氢装置包含：用于将含氢的尾气分解为氢氮混合气的分解炉，用于除去氢氮混合气中杂质同时含有可再生吸附剂的变温吸附设备，用于将除杂后的氢氮混合气中的氢气浓缩提纯同时产生高压逆放气、低压逆放气的变压...

本发明公开了一种高纯氨生产装置。该装置依次由以下部件按顺序用管道连接而成：氨原料罐、钾钠合金罐、隔膜压缩泵、冷凝器、气液分离罐、以及氨成品罐。在气液分离罐中放入活性炭过滤器。另外，冷凝器和气液分离罐放在冷冻箱中。其中钾钠合金罐是本发明的...

利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置，包括过滤器、氨分解装置、第一纯化器、增压泵、第二纯化器和高纯氨合成装置；所述氮化物反应器通过第一管道与过滤器连接，所述过滤器通过第二管道与氨分解装置连接，所述氨分解装置通过第三管道与第一纯化器...

制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道...

高纯氨制备工艺中冷量的利用装置，包括换冷器、氨冷器、深冷器、液氮换冷器和氨分离器；换冷器通过第一管道与氨冷器连接，所述氨冷器通过第二管道与深冷器连接，所述深冷器通过第三管道与液氮换冷器连接，所述液氮换冷器通过第四管道与氨分离器连接，所述...

节能型氨分解获得高纯氢氮混合气的装置，包括氨气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一纯化器和氢氮混合气排放管；所述换热器分为横向通道和纵向通道；所述氨气输入管与换热器的横向通道进口端连接相通，所述换热器的横向通道出口端通过第一管道与氨分...

利用电子工业的含氨尾气再生制备高纯氨的装置，包括过滤器、氨分解装置、第一纯化器、增压泵、第二纯化器和高纯氨合成装置；所述氮化物反应器通过第一管道与过滤器连接，所述过滤器通过第二管道与氨分解装置连接，所述氨分解装置通过第三管道与第一纯化器...

高纯氨制备工艺中冷量的利用装置，包括换冷器、氨冷器、深冷器、液氮换冷器和氨分离器；换冷器通过第一管道与氨冷器连接，所述氨冷器通过第二管道与深冷器连接，所述深冷器通过第三管道与液氮换冷器连接，所述液氮换冷器通过第四管道与氨分离器连接，所述...

极低压条件下制备高纯氨的方法，包括如下步骤：1）取高纯的氢氮原料气，氢氮原料纯度达到99.999%～99.9999999%；2）将高纯的氢氮原料气输送到合成氨塔中合成高纯氨；所述步骤2）中，压力条件为4～7MPa，温度条件为300～40...

节能型氨分解获得高纯氢氮混合气的装置，包括氨气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一纯化器和氢氮混合气排放管；所述换热器分为横向通道和纵向通道；所述氨气输入管与换热器的横向通道进口端连接相通，所述换热器的横向通道出口端通过第一管道与氨分...

制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置，包括氨气尾气输入管、换热器、氨分解炉、水冷器、第一吸附器和尾气排放管；所述换热器分为壳通道和管通道，所述壳通道和管通道互不连通；所述氨气尾气输入管与换热器的壳通道进口端连接相通，所述换热器的壳通道...

本实用新型涉及一种带换热装置的液氨钢瓶，包括液氨钢瓶，所述液氨钢瓶外表面焊接有热交换器，该热交换器设有进水口和出水口；本实用新型利用工厂现场的废热水，从而可以给钢瓶内的液氨提供稳定的热源；由于采用工厂的循环水来提供热量，不再使用电热毯，...