【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气体中杂质的检测方法,特别涉及一种。
技术介绍
电子级超纯氨是一种非常重要的新型光电子材料,也是MOCVD技术制备GaN的重要基础材料。在生产制造发光二极管(LED)、平板显示器(FPD)、半导体和多晶硅太阳能电池片过程中有着广泛的用途。尤其LED芯片在生长过程中,超高纯氨气被用于金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)外延生长过程中,它与金属有机物的前驱物三甲基镓(Ga(CH3)3)在高温高压下发生化学反应生成氮化镓 Ga (CH3) 3 (g) +NH3 (g) — GaN (s) +3CH4 (g) 因此,所用氨气的纯度越高,制备的蓝光LED功耗越小,发光强度越大,使用寿命越长。所以说7N电子级超纯氨是LED晶体制造领域重要的上游关键配套材料,对其纯度的控制是产业链发展中的一个重要环节,直接决定着LED行业的发展。高纯氨/超纯氨的总重金属含量最为气体产品质量的一个重要指标,越来越受到人们的关注与重视。研究表明超纯氨、高纯氨中总重金属会造成一定程度的设备腐蚀和催化剂中毒,不利于生产控制。因此对高纯氨/超纯氨中的总重金属含量进行检测已成为 ...
【技术保护点】
一种检测高纯及超纯氨中总重金属含量的方法,其特征是本方法是通过如下工艺步骤实现的:1)取样:直接将高纯/或超纯氨通入到装有水的容量瓶中溶解,容量瓶中的水为二次蒸馏水或高纯水,进行浓缩,浓缩的倍数由所测产品中重金属含量决定,可取的浓缩范围为1~50倍,并调节PH至中性;2)样品溶液的制备移取12ml该溶液至试管中记为样品溶液;3)参比溶液的制备移取10ml铅浓度为1mg/L的铅标准溶液以及2ml制备好的样品溶液至第二个试管中并混合均匀;4)试剂空白溶液移取10ml水及2ml制备好的样品溶液至第三个试管中;5)分析a)在每个试管的溶液中加入2ml?PH值为3.5的缓冲溶液以及1 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:金向华,王磊,王海,
申请(专利权)人:苏州金宏气体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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