平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法技术方案

本发明专利技术提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体结构及制造方法，特别是涉及平面腔体微机电系统(MEMS)结构、制造和设计结构的方法。
技术介绍
集成电路中所采用的集成电路开关可以由固态结构(例如，晶体管)或者无源布线(MEMS)形成。因为MEMS开关的近乎理想的隔离以及其在IOGHz以及更高频率上的低插入损耗(即阻抗)，所以通常采用MEMS开关，MEMS开关的近乎理想的隔离是将其用于功率放大器(PA)的模式转换的无线通讯应用的关键需求。MEMS开关可用于多种应用，主要为模拟和混合信号应用。一个这样的示例是移动电话芯片，其包含用于为每个广播模式调谐的电路和功率放大器(PA)。芯片上的集成开关将PA连接到适当的电路，从而不需要每个模式具有 一个 PA。取决于特定的应用和工程标准，MEMS结构可具有许多不同的形式。例如，MEMS可以由悬臂梁结构的形式实现。在悬臂结构中，通过施加致动电压(actuation voltage)将悬臂(一个端部固定的悬置电极)拉向固定电极。通过静电力将悬置电极拉向固定电极所需的电压称为拉入电压(pull-in voltage)，其取决于几个参数，包括悬置电极的长度、悬置电极和固定电极之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：D丹格，T多安，GA邓巴，何忠祥，RT赫林，CV扬斯，JC马林，WJ墨菲，AK斯坦珀，JG通布利，EJ怀特，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：
国别省市：