弹性梁及包括其的MEMS传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种用于MEMS传感器的弹性梁和包括其的MEMS传感器，其中弹性梁包括锚点、质量块施加的力、梁弯曲部分以及设置在锚点和质量块施加的力所界定的端部之间的枢轴元件，所述枢轴元件连接梁弯曲部分。本发明专利技术涉及的弹性梁，有效地减少了梁弯曲部分的长度，减少相对面的面积，同时还降低粘连和闭锁发生的可能性。此外，本发明专利技术涉及的弹性梁在保持了几乎相同的弹性常数的基础上，还无需增加指定的芯片面积或者改变指定的芯片形状。本发明专利技术涉及的包含新型弹性梁的MEMS传感器，其具有理想的机械性能和较低的成本。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于MEMS传感器的弹性梁，其包括锚点、质量块施加的力和梁弯曲部分，其特征在于：所述弹性梁还包括至少一个枢轴元件，其设置在锚点和质量块施加的力所界定的端部之间，所述枢轴元件连接梁弯曲部分。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，艾瑞克·霍伊纳茨基，蔡永耀，蒋乐跃，
申请(专利权)人：美新半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：