【技术实现步骤摘要】
三轴磁传感器
[0001]本专利技术涉及磁场传感器领域,尤其涉及一种三轴磁传感器
。
技术介绍
[0002]目前常用的三轴磁传感使用霍尔
(Hall)
,各向异性磁电阻
(AMR)
,巨磁电阻
(GMR)
,隧穿磁电阻
(TMR)
等技术实现
。
其传感器一般只体现三轴的探测功能,三轴磁传感器为一颗芯片,磁开关为另一颗芯片
。
且在加工工艺中,目前的三轴磁传感器需配合额外的设计及工艺方能实现三轴
。
如
Hall
传感器,一般采用水平霍尔技术,其初始磁场探测方向垂直于芯片表面,需配合磁通聚集器等磁场转向结构来实现三轴
。
磁阻传感器,其初始磁场探测方向平行于芯片表面,也需引入磁通聚集器等磁场转向结构或斜坡构造方能实现三轴探测,增加了工艺制造难度
。
[0003]若用磁阻技术
(AMR
,
GMR
,
TMR)
制作
Z
轴磁开关,则在磁场增加到一定值的时候,将会饱和,其输出将可能降为零,从而无法区分零磁场和饱和磁场的状态
。
[0004]因此,有必要提出一种新的技术方案来解决上述问题
。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的之一在于提供一种三轴磁传感器,其将磁阻技术与霍尔技术相结合,采用完全的平面工艺制造三轴磁传感器,从而降低了工艺 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种三轴磁传感器,其特征在于,其包括:两轴各向异性磁电阻传感器,其用于感测相互正交的
X
轴方向和
Y
轴方向的外磁场以产生
X
轴感测电压和
Y
轴感测电压,所述
X
轴感测电压表示感测到的外磁场
X
轴方向的磁场分量,所述
Y
轴感测电压表示感测到的外磁场
Y
轴方向的磁场分量;水平霍尔传感器,其用于感测
Z
轴方向的外磁场以产生
Z
轴感测电压,所述
Z
轴感测电压表示感测到的外磁场
Z
轴方向的磁场分量,所述
Z
轴与
X
轴和
Y
轴相互正交;信号处理电路,其与所述两轴各向异性磁电阻传感器和水平霍尔传感器电性连接,所述信号处理电路用于将所述
X
轴感测电压转换为所述外磁场
X
轴方向的磁场分量,将所述
Y
轴感测电压转换为所述外磁场
Y
轴方向的磁场分量,将所述
Z
轴感测电压转换为所述外磁场
Z
轴方向的磁场分量
。2.
根据权利要求1所述三轴磁传感器,其特征在于,所述水平霍尔传感器作为
Z
轴磁开关;所述信号处理电路还用于将所述
Z
轴感测电压与预先设定的开合阈值电压进行比较,以判断所述
Z
轴磁开关的开关状态
。3.
根据权利要求1或2所述三轴磁传感器,其特征在于,所述两轴各向异性磁电阻传感器
、
水平霍尔传感器和信号处理电路集成于单芯片中;所述
X
轴和
Y
轴确定的平面与所述单芯片平面相平行
。4.
根据权利要求3所述三轴磁传感器,其特征在于,所述单芯片包括衬底,以及层叠于所述衬底上的第一结构层和第二结构层,所述水平霍尔传感器和信号处理电路设置于所述第一结构层中;所述两轴各向异性磁电阻传感器设置于所述第二结构层中;所述第一结构层位于所述衬底上;所述第二结构层位于所述第一结构层上方
。5.
根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄黎,蒋乐跃,储莉玲,凌方舟,
申请(专利权)人:美新半导体无锡有限公司,
类型:发明
国别省市:
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