一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构制造技术

本发明专利技术公开了一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构，包括静电驱动齿、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、第一锚区和绝缘衬底，第一锚区固定连接在绝缘衬底上；左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个沿横向弯折的第一折叠梁；右移定齿包括第二宽梁、右移梳齿、四个沿横向弯折的第二折叠梁；静电驱动齿包括梳齿和第三锚区，右移梳齿、梳齿和左移梳齿依次交替布置；动齿包括质量块、动齿梳齿、第二锚区和沿纵向弯曲的第三折叠梁，且右移梳齿、动齿梳齿和左移梳齿依次交替布置，第一宽梁上设有左移止挡块，第二宽梁上设有右移止挡块。该微机电梳齿机构在静电力的驱动下，调变齿间隙，使得微机电振动所产生的信号强。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：该微机电梳齿机构包括静电驱动齿、由左移定齿（103）和右移定齿（104）组成的定齿、动齿、四个第一锚区（112）和绝缘衬底（100），四个第一锚区（112）分别固定连接在绝缘衬底（100）上；所述的左移定齿（103）包括第一宽梁（107）、左移梳齿（108）、四个沿横向弯折的第一折叠梁（111），左移梳齿（108）固定在第一宽梁（107）的两侧，第一宽梁（107）两端的两侧分别通过一个第一折叠梁（111）连接在一个第一锚区（112）上；左移定齿（103）处于悬空状态；所述的右移定齿（104）包括第二宽梁（109）、右移梳齿（110）、四个沿横向...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟华，浦烜，周再发，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：