电磁致动微快门制造技术

本发明专利技术涉及一种电磁致动微控制器，包括：一块活动板(1)，该活动板可绕一个轴(11)旋转，由在该板的两侧上对齐到所述轴(11)的两个臂形件(7，9)连接到一个静止框架(3)上，并在其外围上包括一个导电环(13)；以及在由该静止框架和该活动板形成的组件下面，一组磁铁(51，53，55)具有相异磁定向，以关于该活动板在该框架的平面中创建相对于该旋转轴的倾斜的一个横向磁场(57)的方式排列。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及由制造微机电系统(MEMS)的方法形成的活动微快门。具体而言，其属于一种新型电磁致动微快门结构。本专利技术应用的一个例子涉及电磁致动微镜。
技术介绍
基于MEMS技术的活动微快门用于众多器件，例如用于小型化投影系统和可见或红外光传感器例如条形码阅读器。这里感兴趣的是通过轴附加到框架上并通过电磁装置围绕该轴可定向的微镜。图I示意示出了在一个娃晶圆中形成的包括一个电磁致动活动微镜的一个MEMS结构。该结构包括附加到一个静止框架3上的一块反射活动小板件I或微镜。一个缝隙5在活动板I和框架3之间延伸。板件I由在该板的两侧上沿一个相同轴11对齐的两个臂 形件7和9连接到框架3上。因此，板件I围绕臂形件7和9形成的轴11可旋转。板件I的移动在臂形件7和9上施加扭转。一条导电路径13沿着板件I正面的外围。路径13横穿臂形件7并在框架3上形成的触点15和17终止。触点15和17以电流在由箭头19表示的方向上在导电路径13中流动的方式(在直流的情况下)连接到未示出的一个电源上。框架3和板件I的组装受到由箭头21表示的一个横向磁场，其中场线基本垂直于轴11并基本平行于框架3的平面。在电流本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.10.27 FR 09575431.一种电磁致动微快门,包括 一块活动板(I)，该活动板(I)可绕一个轴(11 ;72)旋转，由根据所述轴(11)在该板的两侧上对齐的两个臂形件(7，9)连接到一个静止框架(3)，并在其外围上包括一个导电环(13);以及 在由该静止框架和该活动板形成的组件下面，一群磁铁(51，53，55)具有相异磁定向，以关于该活动板在该框架的平面中创建正交于该旋转轴的一个横向磁场(57)的方式排列； 其中所述磁铁群包括三块磁铁(51,53,55),该三块磁铁在从上面观察时是处于平行于该旋转轴(11)的条的形式，在平行于该静止框架(3)的平面的一个相同平面中并置，该中心磁铁(51)具有与该活动板(I)的宽度相等的一个宽度和一个横向磁定向；并且该外围磁铁(53，55)具有正交于该框架的平面并相反方向的磁定向，该磁铁群的尺寸在从上面观察时等于由该静止框架和该活动板形成的组件的尺寸。2.根据权利要求I所述的微快门，其中该相等尺寸等于基本30%。3.根据权利要求I或2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥费·库加特，尼古拉斯·亚贝利，
申请(专利权)人：莱莫普蒂克斯公司，
类型：
国别省市：