下载一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构的技术资料

文档序号:8266429

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本发明公开了一种静电力调变齿间隙的微机电梳齿机构,包括静电驱动齿、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、第一锚区和绝缘衬底,第一锚区固定连接在绝缘衬底上;左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个沿横向弯折的第一折叠梁;右移定齿包括第二宽梁、右移...
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