被加工物保持器、金属线放电加工装置、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法制造方法及图纸

技术编号:8243390 阅读:164 留言:0更新日期:2013-01-25 01:04
被加工物保持器10在通过来自相互隔开间隔且被并排的金属线电极2的放电来切割被加工物的金属线放电加工装置的切割加工时保持被加工物8,形成有大致无间隙地嵌入被加工物的嵌入部102,在与嵌入在嵌入部的被加工物一起进行切割加工时,呈现被加工物保持器和被加工物与金属线电极相对置的部分的沿着金属线电极的长度在被加工物的切割加工中大致固定的外形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
以往,作为金属线放电加工的方式而提出了如下的放电线锯(wire-saw)方式在从圆柱状的被加工物切片加工出薄板的情况下,通过将一根金属线电极卷绕在多个导辊之间而使其并排,而形成多个切割金属线部分,向各个切割金属线部分单独地供电,使各切割金属线部分与被加工物之间同时放电,从而将被加工物一次被切割为多片。在如上述那样的结构的放电线锯中,为了稳定地实施加工而需要可靠地保持被加工物的保持单元。例如在专利文献I中公开了如下技术在圆柱状的被加工物的周向的一 部分中,准备轴向延伸的导电性的固定用底座,并将固定用底座和被加工物用具有导电性的粘接剂进行固定,即由固定用底座来保持被加工物。另外,在专利文献2中公开了如下技术在金属线与被加工物之间提供包含磨粒的加工液、并一边向多个金属线列挤压被加工物一边通过研磨作用来切割出多个晶片的多线锯中,在L形截面的模型构件之上装载被加工物,一边由模型构件的侧面部来支撑作用于被切割部的磨削阻抗一边对每个模型构件进行切割。根据该方法,提出了高效地进行被加工物的设定、切割后的被加工物的取出。另外,在专利文献3中公开了如下技术在对将硬度有差本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:汤泽隆三宅英孝佐藤达志系数笃
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:
国别省市:

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