基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置，确保容易产生气雾的处理室的维护性，并提高室内的排气效率和排气能力的均一性。在吹洗室（R2）的室内排气机构（112）中，第一分隔板（114）配置于比上部双流体喷嘴（104U）高且比排气口（106、108）低的位置，将吹洗室（R2）的室内空间纵向分隔成上部空间（UR2）和下部空间（LR2）。此处，第一分隔板（114）与上游侧隔壁（86）之间形成沿着腔室宽度方向（Y）成一列延伸的两个狭缝开口（116、118）。另外，第二分隔板（124）将在第一分隔板（114）上扩散的上部空间（UR2）横向分隔成：在第一开口（116）与第一排气口（106）之间延伸的第一排气空间（120）、和在第二开口（118）与第二排气口（108）之间延伸的第二排气空间（122）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种向被处理基板喷洒处理液并进行规定的处理的基板处理装置，特别是平流方式的基板处理装置。
技术介绍
最近几年，在平板显示器(FPD)制造中的抗蚀剂涂敷显影处理系统中，作为能够很好地适应被处理基板(例如玻璃基板)的大型化的清洗方法，多采用一种所谓的平流方式，在沿着水平方向铺设搬运辊(滚子)和搬运带而成的搬运路径上搬运基板，并进行清洗处理。这种平流方式与使基板旋转运动的旋涂方式相比，具有基板的处理和搬运系统和驱动系统的结构简单等优点。平流方式的清洗处理装置典型地来讲，沿着平流搬运路径，配置擦洗(scrubbing)用的辊刷、吹洗用的高压喷嘴、冲洗用的冲洗喷嘴、除液干燥用的气刀等清洗工具。清洗液·和冲洗液等的气雾笼罩在这些清洗工具的周围，因此，在各处设置排气口的密闭度高的腔室内进行这些一系列的清洗处理和除液干燥处理。在此情况下，在腔室中设置基板能够平流地通过的入口和出口，外部的空气通过这些开口(入口 /出口)被吸到腔室中。在腔室内产生的气雾与从外面进入的空气一同从排气口被送往腔室外的排气系统。专利文献I :日本特开2008-159663专利文献2 :日本特开2007-300本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，其特征在于，包括：平流搬运路径，其用来在水平的第一方向平流地搬运被处理基板；第一处理室，其容纳所述平流搬运路径的第一区间，且具有在所述平流搬运路径上搬运的所述基板能够通过的入口和出口；一个或多个第一喷嘴，其在所述第一处理室内，向所述平流搬运路径上的所述基板喷洒处理液；第一分隔板，其比所述第一喷嘴更位于上方，将所述第一处理室的室内空间纵向分隔成上部空间与下部空间；第一开口和第二开口，所述第一开口形成于所述第一分隔板与所述第一处理室的壁之间，所述第二开口形成于所述第一分隔板中；第二分隔板，其将所述第一处理室的上部空间横向分隔成：与所述第一开口连接的第一排气空间和与所述第二开口连接...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：儿玉宗久，宫崎一仁，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：