炉管通气炬制造技术

一种炉管通气炬，包括：进气通路、排气通路、气体加热腔、卡凸和夹具，其中，所述进气通路与外部供气管连接，所述卡凸位于所述进气通路外壁，所述夹具夹持卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。本实用新型专利技术在炉管通气炬进气通路外壁设置卡凸，并通过夹具将卡凸与外部供气管夹持，提高进气通路与外部供气管连接的牢固性，避免外部供气管脱落对炉管所在车间环境以及炉管中晶圆质量造成影响，提高了炉管的正常工作时间。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体工艺制程领域，尤其涉及一种炉管通气炬。
技术介绍
在半导体的制造工艺流程中，经常需要对晶圆进行扩散、沉积、氧化以及烧结工艺，而这些工艺通常需要在加热设备——炉管中完成。现有半导体材料在高纯净的炉管内进行高温反应的过程中，通常需要向炉管通入不同类型的气体；并且，在整个工艺过程中，炉管需要纯净、轻便、耐高温。目前，炉管一般分为水平式和直立式两种。如图I所示，为一直立式炉管的结构示意图，包括外管101、内管102、气体反应腔103、基座105、气体输入管106以及尾气排出管107。内管102和外管101之间设置有材质为石英的气体喷嘴；气体反应腔103为气体的反·应腔体；晶舟104被置于气体反应腔103内，用于承载晶圆；基座105在晶舟104下方，用于支撑晶舟104和起到隔热的作用。气体输入管106将反应所需的反应气体输送到气体反应腔103内以进行化学反应，以在晶圆上形成需要的薄膜层，尾气排出管107用以将反应产生的副产物或未反应的气体排出气体反应腔103。如图I所示，所述炉管还包括炉管通气炬，所述炉管通气炬包括进气通路109、排气通路110和气体加热腔108。其中，进气通路109与外部供气管111连接，用于向气体加热腔108输送所需加热的反应气体；气体加热腔108用于对反应气体进行加热；排气通路110与气体加热腔108和气体输入管106连接，用于将加热后的反应气体输送到气体输入管106。考虑到某些半导体的制造工艺流程中需要对反应气体进行加热，以及反应气体具有较强的腐蚀性等因素，通常采用熔点沸点高，化学性质稳定的石英作为炉管通气炬的材料。而与炉管通气炬的进气通路109连接的外部供气管111则由熔点沸点高、耐腐蚀性强且可塑性好的聚四氟乙烯形成。然而，在对炉管通气炬进行加热或冷却过程中，外部供气管111和进气通路109会发生热胀冷缩，由于石英与聚四氟乙烯的热膨胀系数不同，外部供气管111和进气通路109在热胀冷缩过程中发生的变形量不同，在对炉管通气炬进行多次加热或冷却后，外部供气管111易从进气通路109脱落，导致反应气体泄漏，影响炉管所在车间的环境以及炉管的正常工作时间。另外，外部供气管111脱落会导致炉管中反应气体发生变化，进而损伤炉管中晶圆，造成严重的经济损失。在公告号为CN201530863U的中国专利中可以发现更多关于现有技术中炉管的信肩、O因此，提供一种炉管通气炬，提高炉管通气炬与外部供气管连接的牢固性成为目前亟待解决的问题之一
技术实现思路
本技术解决的问题是提供一种炉管通气炬，防止外部供气管从炉管通气炬的进气通路脱落，提高炉管通气炬与外部供气管连接的牢固性。为解决上述问题，本技术提供了一种炉管通气炬，包括进气通路、卡凸和夹具，所述进气通路与外部供气管连接，所述卡凸位于所述进气通路外壁上，所述夹具用于夹持所述卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。可选的，所述卡凸与进气通路外壁一体成型，为进气通路外壁的延伸部分。可选的，所述卡凸通过粘合方式固定于进气通路外壁。可选的，所述卡凸通过连接件固定于进气通路外壁。可选的，所述卡凸呈圆柱体或长方体或正方体或环状体。可选的，所述卡凸的延伸方向与进气通路外壁的夹角为85 95度。·可选的，所述外部供气管为弯管。可选的，所述进气通路的材质为二氧化硅，所述外部供气管的材质为聚四氟乙烯。可选的，所述夹具的材质为聚四氟乙烯。可选的，所述进气通路与外部供气管连接的连接方式为套接。可选的，所述进气通路与外部供气管连接的连接方式为螺纹连接。可选的，所述炉管通气炬还包括排气通路和气体加热腔；所述进气通路和排气通路与气体加热腔连接。可选的，所述进气通路、排气通路和气体加热腔一体成型。可选的，所述夹具包括第一夹板、第二夹板、旋转连接件和弹性连接件。可选的，所述第一夹板和第二夹板的一端通过旋转连接件连接，另一端夹持所述卡凸和外部供气管。可选的，所述第一夹板和第二夹板上在靠近旋转连接件一端处分别具有第一连接孔和第二连接孔，通过弹性连接件连接第一连接孔和第二连接孔，用于固定进气通路和外部供气管。与现有技术相比，本技术技术方案具有以下优点在炉管通气炬进气通路的外壁上设置卡凸，并通过夹具将卡凸和外部供气管夹持，固定进气通路和外部供气管，提高进气通路与外部供气管连接的牢固性，避免因外部供气管从进气通路脱落而造成的反应气体泄漏，保障炉管所在车间的环境质量，以及避免炉管中反应气体变化对炉管中晶圆造成损伤，提高炉管的正常工作时间。可选方案中，通过将进气通路外壁上卡凸设置成环状体，进而能够在炉管通气炬使用过程中根据实际需要改变外部供气管的拐角位置，并通过夹具将卡凸和外部供气管夹持，固定进气通路和外部供气管，在提高进气通路与外部供气管连接牢固性的同时，进一步提高了炉管通气炬的实用性。附图说明图I为现有技术中炉管的结构示意图；图2为本技术一个实施例中炉管通气炬的结构示意图；图3为本技术又一个实施例中炉管通气炬中进气通路与卡凸的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是本技术还可以采用其它不同于在此描述的其它方式来实施，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。正如
技术介绍
部分所述，现有炉管通气炬进气通路与外部供气管的材质不同，其热膨胀系数也不同，在对炉管通气炬进行多次加热或冷却后，与进气通路连接的外部供气管易脱落，导致反应气体泄漏，使炉管所在车间的环境受到污染。另外，外部供气管脱落会导致炉管中反应气体发生变化，进而损伤炉管中晶圆，造成严重的经济损失。针对上述问题，本技术提供了一种炉管通气炬，包括进气通路、卡凸和夹具，所述进气通路与外部供气管连接，所述卡凸位于所述进气通路外壁上，所述夹具用于夹持所述卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。本技术在炉管通气炬进气通路外壁上设置卡凸，并利用夹具将卡凸和外部供气管夹持，提高了进气通路与外部供气管连接的牢固性，避免外部供气管脱落对炉管所在车间环境以及炉管中晶圆质量造成影响，提高了炉管的正常工作时间。以下结合附图进行详细说明。参考图2，为本技术一个实施例中炉管通气炬的结构示意图，包括进气通路109、排气通路110、气体加热腔108、卡凸113和夹具。其中，所述进气通路109与外部供气管111连接；所述卡凸113设置于所述进气通路109外壁上，且凸出于外壁表面；所述夹具通过夹持卡凸113和外部供气管111，使进气通路109和外部供气管111固定。本实施例中，进气通路109与外部供气管111连接的连接方式为套接或者螺纹连接，但本技术不限于此。本实施例中，所述炉管通气炬中进气通路109、排气通路110、气体加热腔108为一体成型的；所述进气通路109、排气通路110和气体加热腔108的材质可为二氧化硅。本实施例中，所述卡凸113和进气通路109既可以一体成型，也可以通过粘合方式或者连接件固定于所述进气通路109外壁。其中，当卡凸113通过粘合方式固定于所述进气通路109外壁时，将卡凸113与进气通路109粘合的粘合剂需具备熔点沸点高、耐腐蚀性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管通气炬，包括进气通路，所述进气通路与外部供气管连接，其特征在于，还包括：卡凸，所述卡凸位于所述进气通路外壁上；夹具，用于夹持所述卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾武强，潘琦，邹旻，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：