本发明专利技术的目的是提供在失去电源时防止直线电动机的升降轴落下且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。本发明专利技术具有：处理部；双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部、和第二直线电动机部；主电源，向上述双轴驱动轴供给电源；和防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下，其中，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及包含升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的模片结合器以及模片结合器的运转方法，尤其涉及含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。
技术介绍
在一种半导体制造装置中具有将半导体芯片(模片)结合在引线框等的基板上的模片结合器。在模片结合器中，用结合头对模片进行真空吸附、以高速上升、水平移动、下降再安装在基板上。该情况下，进行上升、下降的是升降(Z)驱动轴。 现在，对模片结合器的高精度、高速化的要求提高，特别地，作为结合的心脏部的结合头的高速化的要求提高。作为现有的结合头的驱动方法，有用伺服电动机驱动滚珠螺杆的专利文献I中记载的方法。专利文献I :特开2004-263825号公报但是，在用伺服电动机驱动滚珠螺杆的方法中存在高速化的限度。于是，开始研究适于高速化的由直线电动机进行的驱动。如果只使用直线电动机驱动，则在升降轴在失去电源时简单地用手动来动作时，如图4(b)所示，因情况不同担心作为处理部的结合头落到引线框等的基板(处理对象)上，结合头破损，且基板即产品也会破损。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供在失去电源时防止直线电动机的升降轴落下，且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。本专利技术为实现上述目的而至少具有以下特征。本专利技术的第一特征在于，一种双轴驱动机构，具有处理部；双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部和第二直线电动机部，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部；主电源，对上述双轴驱动轴供给电源；和防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下。此外，本专利技术的第二特征在于，上述双轴驱动轴具有借助于上述第一直线导轨连接上述第一可动部并直接或间接地连接上述第二可动部的连接部；使上述第一可动部、上述第二可动部和上述连接部成为一体并在上述水平方向上移动的第二直线导轨；和将上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以预定的长度互相平行地进行固定的支撑体。再有，本专利技术的第三特征在于，上述双轴驱动轴具有第三直线导轨，该第三直线导轨将上述第一直线电动机部固定在上述第二可动部上，且导引上述第一直线电动机部的上述水平方向的移动。另外，本专利技术的第四特征在于，上述防止升降轴落下构件具有设于与上述第一可动部一同移动的第一可动体部上的止动件、和在上述电源失去时将上述止动件在预定的位置进行支撑的支撑驱动部。还有，本专利技术的第五特征在于，将上述支撑驱动部设于上述第一固定部或上述第二固定部的两端侧或者其附近的固定部件上。此外，本专利技术的第六特征在于，上述支撑驱动部是具备因电源的有无而突出的杆部的螺旋管或者具备气缸杆的气缸。再有，本专利技术的第七特征在于，在上述预定的位置支撑的支撑动作是利用与上述主电源分体设置的其它电源来进行的。 另外，本专利技术的第八特征在于，具有在上述电源失去时用与上述主电源分体设置的其它电源使第一可动部上升或在该状态下维持该第一可动部的控制构件。还有，本专利技术的第九特征在于，是一种模片结合器，具备第一至第八特征记载的双轴驱动机构，并通过上述处理部对基板进行处理。此外，本专利技术的第十特征在于，上述处理部是将模片从晶片拾取且向基板结合的结合头或向上述基板涂敷模片粘接剂的针。还有，本专利技术的第十一特征在于，一种模片结合器的运转方法，具有如下步骤具有主电源、通过上述主电源的供给来用直线电动机使结合头升降以吸附模片，在基板上安装上述模片的步骤；和在上述主电源失去时防止上述结合头落下的防止落下步骤。根据本专利技术，可提供在失去电源时可防止直线电动机的升降轴落下，且含有可靠性高的升降轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的可靠性高的模片结合器以及模片结合器的运转方法。附图说明图I是从上方观察作为本专利技术第一实施方式的模片结合器的概念图。图2是表示作为第一实施例的ZY驱动轴的基本构成和防止升降轴落下构件的第一实施例的图，且是ZY驱动轴的结合头所在的图I所示位置处的A-A剖视图。图3是从B方向观察图2所示的ZY驱动轴的向视图。图4是表示失去电源时的结合头的状态的图。图5是从上方观察作为本专利技术第二实施方式的模片结合器的概念图。图6是表示ZY驱动轴的第二实施例的基本构成和防止升降轴落下构件的第二实施例的图。图7是表示防止升降轴落下构件的第二实施例的失去电源时的状态的图。图8是表示设置防止升降轴落下构件的第一、第二实施例的螺旋管的另一位置的图。图9是表示防止升降轴落下构件的第三实施例的图。图10是表示防止升降轴落下构件的第四实施例的图。图11是表示防止升降轴落下构件的第四实施例的失去电源时的状态的图。图12是表示防止升降轴落下构件的第五实施例的图。附图标记说明I-晶片供给部；2_工件供给、输送部；3_模片结合部；10-模片结合器；32_结合头部；35_结合头；40、40A-Y驱动轴；41-Y轴可动部；42_Υ轴固定部；43_Υ轴直线导轨；44-Υ轴导轨；45-Υ轴可动部固定部；47_固定电磁铁部；50、50Α_Ζ驱动轴；51_Ζ轴可动部；52-Ζ轴固定部；53-Ζ轴直线导轨；54_连接部；55_保持体；57_固定电磁铁部；60、60Α、60Β :ΖΥ驱动轴；61-连接部；62-支撑体;70_Χ驱动轴;80、 80A、80B、80C、80D、80E :防止升降轴落下构件；81_止动件；82_推压螺线管；82a-推杆；84_拉伸螺线管；84a_拉杆；85_弹簧；86_工作杆；181-中空盒；182_弹性体；184_形状记忆合金；185_制动棒；186_弹簧；187-电磁铁；188_电磁铁；189_导棒；281_工作棒。具体实施例方式下面参照附图来说明本专利技术的实施方式。图I是从上方观察作为本专利技术第一实施方式的模片结合器10的概念图。模片结合器大体具有晶片供给部I、工件供给、输送部2、模片结合器部3、电源部9和控制这些部件的控制部7。晶片供给部I具有晶片盒升降机11和拾取装置12。晶片盒升降机11具有填充晶片环的晶片盒(未图示)，将晶片环依次向拾取装置12供给。拾取装置12使晶片环移动以能从晶片环拾取期望的模片。工件供给、输送部2具有堆料装载器21、框进料器22和卸载器23，将工件(引线框等的基板)向箭头方向输送。堆料装载器21将粘接有模片的工件向框进料器22供给。框进料器22将工件经由框进料器22上的两个处理位置向卸载器23输送。卸载器23保管输送的工件。模片结合部3具有预制部(模片糊料涂覆装置)31和结合头部32。预制部31在由框进料器22输送的工件例如引线框上用针涂敷模片粘接剂。结合头部32从拾取装置12拾取模片并上升，将模片水平移动到框进料器22上的结合点。而且，结合头部32在结合点使模片下降，在涂敷了模片粘接剂的工件上结合模片。结合头部32具有使结合头35 (参照图2)在Z (高度)方向上升降且在Y方向上水平移动的ZY驱动轴60、和使结合头在X方向上水平移动的X驱动轴70。ZY驱动轴60具有在Y方向上即、使结合头在晶片环支架12内的拾取位置和结本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种双轴驱动机构，其特征在于，具有：处理部；双轴驱动轴，该双轴驱动轴具备第一直线电动机部和第二直线电动机部，上述第一直线电动机部具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部，上述第二直线电动机部具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部；主电源，对上述双轴驱动轴供给电源；和防止升降轴落下构件，在上述主电源的电源失去时防止上述第一可动部落下。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：深泽信吾，保坂浩二，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术仪器，
类型：发明
国别省市：
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