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一种炉管通气炬，包括：进气通路、排气通路、气体加热腔、卡凸和夹具，其中，所述进气通路与外部供气管连接，所述卡凸位于所述进气通路外壁，所述夹具夹持卡凸和外部供气管，固定进气通路和外部供气管。本实用新型在炉管通气炬进气通路外壁设置卡凸，并通过夹...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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