一种用来处理HMDS的真空烘箱制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门；所述箱门包括中间层的门板，包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。本实用新型专利技术提供的一种用来处理HMDS的真空烘箱，整个操作过程处于真空状态，使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻胶与硅表面的粘附力。箱门与机箱有一定的浮动性，可以吸收多余部分挤压力，避免了氟橡胶密封圈的破裂而引起的漏气现象，降低了设备的故障率，也节约了设备维护的成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于干燥设备领域，特别涉及一种用来处理HMDS的真空烘箱。
技术介绍
HMDS作为一种增粘剂，可有效增加光刻胶与硅片之间的吸附力，在硅片的光刻工艺中逐渐开始应用，但其本身具有毒性且易挥发，因此使用HMDS的工序需要在真空的状态下进行，否则会对操作人员造成伤害；国内现有的厂商在硅片上涂光刻胶很少有使用HMDS作为增粘剂，由于吸附力不够，这样涂胶就不均匀，更严重的会导致光刻胶脱落
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱，整个操作过程处于真空状态，使HMDS药液与硅片表面的二氧化硅充分作用，提高光刻胶与硅表面的粘附力。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门；所述箱门包括中间层的门板，包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。进一步地，所述密封箱门内侧靠近铰链的一边设有一密封用的加强筋。进一步地，所述密本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链连接有一密封箱门；所述箱门包括中间层的门板，包裹在门板外面的石棉层以及门外壳。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储瑞清，
申请(专利权)人：无锡市瑞达电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：