用于真空腔室的密封结构制造技术

一种用于真空腔室的密封结构，包括：第一密封件，第一密封件向外凸出形成有第一凸台，第一凸台形成有第一密封面；第二密封件，第二密封件向外凸出形成有第二凸台，第二凸台形成有第二密封面，第二密封面与第一密封面相对，第二凸台自第二密封面内凹形成有定位槽；沿定位槽设置的密封圈；及连接第一密封件与第二密封件的连接件，连接件用于使第一密封面及第二密封面对密封圈进行挤压以形成密封连接。本实用新型专利技术所给出的用于真空腔室的密封结构，由于第一密封件及第二密封件分别形成有第一凸台及第二凸台，减少了机械加工量，该密封结构不存在配合要求，加工简单，安装方便，另外，第二密封面内凹形成有定位槽，同时解决了密封圈的定位问题。

【技术实现步骤摘要】
用于真空腔室的密封结构
本申请涉及一种密封结构，尤其涉及一种用于真空腔室的密封结构。
技术介绍
大型的真空腔室的密封结构通常为L型密封和平面密封如图5所示，对于L型密封，虽然其下封件设有台阶状凸起5，便于密封圈定位，但是上下密封面有严格的配合要求，大大增加了加工和安装难度。对于平面密封，如图6所示，其对接的两个密封面均为平面，虽然加工密封面方便，但是密封圈3定位困难，常常导致法兰对接时密封圈3偏移，造成安装难度大。
技术实现思路
本技术提供一种用于真空腔室的密封结构，旨在同时解决现有的密封结构的密封圈的定位问题及加工、安装困难问题。一种用于真空腔室的密封结构，包括：第一密封件，所述第一密封件向外凸出形成有第一凸台，所述第一凸台形成有第一密封面；第二密封件，所述第二密封件向外凸出形成有第二凸台，所述第二凸台形成有第二密封面，所述第二密封面与所述第一密封面相对，所述第二凸台自所述第二密封面内凹形成有定位槽；沿所述定位槽设置的密封圈；及连接所述第一密封件与所述第二密封件的连接件，所述连接件用于使所述第一密封面及所述第二密封面对所述密封圈进行挤压以形成密封连接。所述的用于真空腔室的密封结构，其中，所述密封圈为铝丝。所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述铝丝的直径范围为3mm～5mm。所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述铝丝的直径为4mm。所述的用于真空腔室的密封结构，其特征在于，所述连接件为螺栓。本技术所给出的用于真空腔室的密封结构，由于第一密封件及第二密封件分别形成有第一凸台及第二凸台，减少了机械加工量，该密封结构不存在配合要求，加工更加简单，安装方便，另外，第二密封面内凹形成有定位槽，同时解决了密封圈的定位问题。附图说明图1为本技术实施例中，立体示意图；图2为本技术实施例中，真空腔室的爆炸图；图3为本技术实施例中，真空腔室的剖面图；图4为图3中A处放大图；图5为现有技术中L型密封的结构示意图；图6为现有技术中平面密封的结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。本实施例所给出的用于真空腔室的密封结构如图1及图4所示，包括第一密封件1、第二密封件2、密封圈3及连接件4。第一密封件1向外凸出形成有第一凸台11，第一凸台11形成有第一密封面111。第二密封件2向外凸出形成有第二凸台21，第二凸台21形成有第二密封面211，第二密封面211与第一密封面111相对，第二凸台21自第二密封面211内凹形成有定位槽212。密封圈3沿所示定位槽212设置。连接件4连接第一密封件1与第二密封件2，连接件4用于使第一密封面111及第二密封面211对密封圈3进行挤压以形成密封连接。具体地，如图1、图2及图3所示，本实施例的第一密封件1为箱盖，第二密封件2为箱体，第一密封件1盖设在第二密封件2的开口端，第一密封件1与第二密封件2共同形成一个真空腔室，通过分子泵抽真空即形成能满足真空度≤1×10-4Pa的真空腔室。其中，箱体和箱盖的材料可以采用304不锈钢或者碳钢。当然，第一密封件1不限于箱盖，第二密封件2不限于箱体。也可是第一密封件1密封连接在箱盖上，第二密封件2密封连接在箱体上，或者，第一密封件1密封连接在箱体上，第二密封件2连接在箱盖上，整体可形成真空腔室即可。在工作环境为辐射环境(如γ射线)，密封结构要求耐辐射，无法使用氟橡胶等材料密封，则密封圈3采用金属密封。进一步地，密封圈3为铝丝。如此，密封圈3采用铝丝更加经济实用，节约成本。当然，密封圈3不限于铝丝，还可以为其它材料，如铟丝或者金丝，但是，与铟丝和金丝相比，用铝丝密封可以大大降低成本。具体地，本技术的铝丝为纯铝丝，热处理350℃退火1小时，使铝丝变软以便在挤压下更易于变形与第一密封面111及第二密封面211贴合密封。铝丝的直径范围为3mm～5mm。如此，铝丝能较好地被挤压变形与第一密封面111及第二密封面211贴合进入密封状态。较佳地，铝丝的直径为4mm。如此，Ф4mm铝丝的密封效果较好且较为节约成本。本实施例的铝丝为纯铝丝，经过热处理350℃退火1小时，使铝丝变软以便在挤压下更易于变形与第一密封面111及第二密封面211贴合密封。进一步地，连接件4为螺栓。如此，结构简单，操作方便。其中，第一密封件1围绕第一凸台11间隔开设有多个通孔，第二密封件2围绕第二凸台21间隔开设有多个与第一密封件1上的通孔对应设置的螺纹孔，螺栓穿过通孔以连接第一密封件1与第二密封件2。由于第一凸台11与第二凸台21的结构设计，可以避免精加工时螺纹孔导致的打刀问题。具体地，真空密封时，先将铝丝沿着定位槽212布置在第二密封件2上，扣合第一密封件1，拧紧螺栓使得第一密封面111与第二密封面211面对铝丝进行挤压，铝丝发生变形并与第一密封面111及第二密封面211贴合进入密封状态，在抽真空过程中，不断地拧紧螺栓，同时在大气压力的作用下，使铝丝进一步变形，与第一密封面111及第二密封面211完全贴合直至形成冷焊，实现真空密封。本技术所给出的用于真空腔室的密封结构，由于第一密封件1及第二密封件2分别形成有第一凸台11及第二凸台21，减少了机械加工量，该密封结构不存在配合要求，加工更加简单，安装方便，另外，第二密封面211内凹形成有定位槽212，同时解决了密封圈3的定位问题。以上内容是结合具体的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属
的普通技术人员来说，在不脱离本申请专利技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空腔室的密封结构，其特征在于，包括：第一密封件，所述第一密封件向外凸出形成有第一凸台，所述第一凸台形成有第一密封面；第二密封件，所述第二密封件向外凸出形成有第二凸台，所述第二凸台形成有第二密封面，所述第二密封面与所述第一密封面相对，所述第二凸台自所述第二密封面内凹形成有定位槽；沿所述定位槽设置的密封圈；及连接所述第一密封件与所述第二密封件的连接件，所述连接件用于使所述第一密封面及所述第二密封面对所述密封圈进行挤压以形成密封连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空腔室的密封结构，其特征在于，包括：第一密封件，所述第一密封件向外凸出形成有第一凸台，所述第一凸台形成有第一密封面；第二密封件，所述第二密封件向外凸出形成有第二凸台，所述第二凸台形成有第二密封面，所述第二密封面与所述第一密封面相对，所述第二凸台自所述第二密封面内凹形成有定位槽；沿所述定位槽设置的密封圈；及连接所述第一密封件与所述第二密封件的连接件，所述连接件用于使所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：于永积，宁常军，康玲，王鹏程，
申请(专利权)人：东莞中子科学中心，
类型：新型
国别省市：广东,44