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本实用新型提供了一种用来处理HMDS的真空烘箱，包括机箱，固定在机箱外侧的药瓶，固定在机箱上方的电器箱，通过连接管道与电器箱连接的真空泵箱；所述电器箱上设有控制表盘；其特征在于，所述机箱为一面开口，中空的矩形箱体；所述机箱开口的一面通过铰链...
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