一种镀镍机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、匀流板与工作平台，所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部；所述加工槽系统包括：超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上；所述称量部固定于工作平台上；所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板；所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。本实用新型专利技术提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种镀镍机，尤其涉及半导体后工序生产线镀镍机。
技术介绍
现有的镀镍机超声槽超声直接做在槽子上，制作较为困难，且超声头坏了不容易修理；硅片在镀镍槽内上下抖动，最后不提出液面，如此一来操作人员取片架不方便，容易被腐蚀到，镀镍槽内氨水容易挥发，需定时补充，手动添加氨水费时费力，且每次添加量不一样，使腐蚀液酸碱度不准确，硅片腐蚀不均匀；原镀镍槽内无鼓泡功能，硅片腐蚀不均匀。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，自动检测槽内酸碱度，且有氨 水自动添加功能，准确，方便，效率高。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案本技术一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、匀流板与工作平台，所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部；所述加工槽系统包括超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上；所述称量部固定于工作平台上；所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板；所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。进一步地，所述超声槽与IPA槽的数量均为2个，且材料均为不锈钢。进一步地，所述镀镍加热槽的数量为4个，且材料均为石英玻璃。进一步地，所述活化液腐蚀槽的数量为I个，且材料为NPP。进一步地，所述快排槽的数量为2个，且材料为NPP。进一步地,所述称量部的数量为2个。本技术提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中图I是本技术一种镀镍机的正视结构示意图；图2是本技术一种镀镍机的侧视结构示意图；图3是本技术一种镀镍机的俯视结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。如图1、2、3所示，本技术一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部8、抖动提升机构9、配管系统10、匀流板11与工作平台12，所述机体为长方体结构，包括左机体I与右机体2 ;所述工作平台12固定于机体中部；所述加工槽系统包括超声槽3、镀镍加热槽4、活化液腐蚀槽5、IPA槽6与快排槽7，均固定在工作平台12上；所述称量部8固定于工作平台上；所述抖动提升机构9固定于机体上端，抖动提升机构9的末端固定有匀流板11 ;所述配管系统10固定于机体底部，工作平台12下方。本技术提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种镀镍机,包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、勻流板与工作平台，其特征在于所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部； 所述加工槽系统包括超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上； 所述称量部固定于工作平台上； 所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板； 所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。2.根据权利要求I所述的一种镀镍机，其特征在于所述超声槽与IPA槽的数量均为2个，且材料均为不锈钢。3.根据权利要求I所述的一种镀镍机，其特征在于所述镀镍加热槽的数量为4个，且材料均为石英玻璃。4.根据权利要求I所述的一种镀镍机，其特征在于所述活化液腐蚀槽的数量为I个，且材料为NPP。5.根据权利要求I所述的一种镀镍机，其特征在于所述快排槽的数量为2个，且材料为 NPP。6.根据权利要求I所述的一种镀镍机，其特征在于所述称量部的数量为2个。专利摘要本技术提供了一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、匀流板与工作平台，所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部；所述加工槽系统包括超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上；所述称量部固定于工作平台上；所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板；所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。本技术提供的一种镀镍机，自动检测槽内酸碱度，且有氨水自动添加功能，准确，方便，效率高，硅片在液面下自动上下抖动，腐蚀均匀，频率可调，方便拿取硅片，省时省力，效率高。文档编号C23C18/32GK202671682SQ20122029047公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月19日 优先权日2012年6月19日专利技术者储瑞清 申请人:无锡市瑞达电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀镍机，包括机体、加工槽系统、称量部、抖动提升机构、配管系统、匀流板与工作平台，其特征在于：所述机体为长方体结构，包括左机体与右机体；所述工作平台固定于机体中部；所述加工槽系统包括：超声槽、镀镍加热槽、活化液腐蚀槽、IPA槽与快排槽，均固定在工作平台上；所述称量部固定于工作平台上；所述抖动提升机构固定于机体上端，抖动提升机构的末端固定有匀流板；所述配管系统固定于机体底部，工作平台下方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储瑞清，
申请(专利权)人：无锡市瑞达电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：