用于沉积含铜-铟-镓的薄膜的电镀方法和化学物技术

技术编号:7900898 阅读:171 留言:0更新日期:2012-10-23 12:29
本发明专利技术提供了形成太阳能电池吸收器层的方法和前体结构。该方法包括:电沉积第一层,所述第一层包括膜叠层,该膜叠层至少包括含铜的第一膜、含铟的第二膜和含镓的第三膜,其中该第一层包括第一铜量;电沉积第二层到所述第一层上,该第二层包括第二铜-铟-镓三元合金膜、铜-铟二元合金膜、铜-镓二元合金膜和铜-硒二元合金膜中至少其一,其中该第二层包括第二铜量,该第二铜量高于所述第一铜量;和电沉积第三层到所述第二层上,该第三层包括硒;和使该前体叠层反应从而在基底上形成吸收器层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:S·阿克苏M·皮纳巴斯
申请(专利权)人:索罗能源公司
类型:发明
国别省市:

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