【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置,特别是一种改变了原有合成炉内废旧硅粉的回收设备,大大节约了劳动力,同时减少了硅粉的浪费,回收后的硅粉还可以继续使用。
技术介绍
目前多晶硅行业中,大多数企业中的三氯氢硅合成炉停车后需将合成炉内的硅粉进行回收,主要是将合成炉椎体进行拆除,将硅粉泄放再处理,此方法容易造成在拆卸时硅粉粉尘较严重,对拆卸人员身体健康产生影响,同时在拆卸时大量硅粉被溅落到地面,造成此硅粉无法使用。专利号为CN101966993A,名称为一种三氯氢娃生产过程中废娃粉的回收利用方法,综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器,高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接;高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器,一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐,一级旋风分离器的出气口连接二级旋风分离器,二级旋风分离器的下方设有二级存渣罐;二级旋风分离器的出气口依次连接一级布袋除尘器和二级布袋除尘器,一级布袋除尘器和二级布袋除尘器出料口均通过吹渣管道与硅粉回收罐相连接,硅粉回收罐的出料口与三氯氢硅合成炉回收口连接,但该设备具投资 ...
【技术保护点】
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置,包括合成炉(10)和硅粉收集罐(40),其特征在于,合成炉(10)通过金属软管(30)与硅粉收集罐(40)的接口连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘兴平,呼维军,涂江,
申请(专利权)人:特变电工新疆硅业有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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