一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置制造方法及图纸

技术编号:8227168 阅读:342 留言:0更新日期:2013-01-18 07:26
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置,包括合成炉和硅粉收集罐,合成炉通过金属软管与硅粉收集罐的接口连通,具体的说,所述合成炉的底部具有锥体结构,所述锥体结构的两端分别与氮气进口管线和正常氯化氢进气管线连通,在所述合成炉的锥体结构上部侧壁上设有硅粉泄放阀,硅粉泄放阀通过金属软管与硅粉收集罐侧壁上的接口连接,在所述硅粉收集罐顶部的氮气出口处设有布袋过滤器。本实用新型专利技术的有益效果如下:本实用新型专利技术提供的回收装置,工艺简单,工艺条件易于实现,且操作方便;再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用,同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置,特别是一种改变了原有合成炉内废旧硅粉的回收设备,大大节约了劳动力,同时减少了硅粉的浪费,回收后的硅粉还可以继续使用。
技术介绍
目前多晶硅行业中,大多数企业中的三氯氢硅合成炉停车后需将合成炉内的硅粉进行回收,主要是将合成炉椎体进行拆除,将硅粉泄放再处理,此方法容易造成在拆卸时硅粉粉尘较严重,对拆卸人员身体健康产生影响,同时在拆卸时大量硅粉被溅落到地面,造成此硅粉无法使用。专利号为CN101966993A,名称为一种三氯氢娃生产过程中废娃粉的回收利用方法,综合利用废硅粉生产三氯氢硅的设备,包括三氯氢硅合成炉混合气出口管道连接高效旋风分离器,高效旋风分离器的出料口与硅粉回收罐连接;高效旋风分离器的出气口连接一级旋风分离器,一级旋风分离器的下方设有一级存渣罐,一级旋风分离器的出气口连接二级旋风分离器,二级旋风分离器的下方设有二级存渣罐;二级旋风分离器的出气口依次连接一级布袋除尘器和二级布袋除尘器,一级布袋除尘器和二级布袋除尘器出料口均通过吹渣管道与硅粉回收罐相连接,硅粉回收罐的出料口与三氯氢硅合成炉回收口连接,但该设备具投资较大、操作复杂、设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置,包括合成炉(10)和硅粉收集罐(40),其特征在于,合成炉(10)通过金属软管(30)与硅粉收集罐(40)的接口连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘兴平呼维军涂江
申请(专利权)人:特变电工新疆硅业有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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