【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多晶硅生产尾气回收方法及其装置。
技术介绍
高纯多晶硅的生产广泛地采用氢气还原SiHCI3法，即西门子法。该方法采用了开路式的工艺流程，原辅材料单耗高、能耗高，生产中产生的各种尾气、副产物未能有效地回收利用，“三废”处理量大、费用高，给环境带来不利的影响。在多晶硅生产尾气中，主要包括还原反应系统所产生的尾气三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氢气，此部分尾气进入干法尾气分离回收装置分别进行分离回收；多晶硅尾气回收系统所产生的富含氮气、碳氧化合物等非金属杂质的废氢气；精懼系统所产生的尾气各种氯娃烧及氢气、氯化氢。目前对西门子法生产多晶硅的尾气回收，只是针对还原反应系统所产生的尾气进 行回收，多晶硅生产中还有大量的废气进行排放，其中不仅含有氯硅烷，还有大量的氢气和氯化氢气体，目前还原反应系统及多晶硅尾气回收系统排放的富含非金属杂质的氢气、精馏装置排放的尾气基本上未进行回收利用，大量的氢气和氯化氢气体不能得到良好的回收，回收不彻底。一般采用碱液淋洗吸收后排放放空，环保问题较为突出，氯硅烷、氢气和氯化氢损耗较大。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有...
【技术保护点】
一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤一、精馏装置尾气回收：将尾气进行两级冷凝，分离出的冷凝液去精馏塔提纯生产；步骤二、尾气再回收：将步骤一中分离的气体与还原反应系统的尾气充分混同后进行混压缩；步骤三、氯化氢吸收：对步骤二中处理后的气体分离回收氯化氢；步骤四、氢气的纯化：经步骤三处理后的气体和尾气回收系统排放的富含非金属杂质的氢气同时提纯净化后进入还原反应系统参与反应。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法，其特征在于包括如下步骤 步骤一、精馏装置尾气回收将尾气进行两级冷凝，分离出的冷凝液去精馏塔提纯生产； 步骤二、尾气再回收将步骤一中分离的气体与还原反应系统的尾气充分混同后进行混压缩； 步骤三、氯化氢吸收对步骤二中处理后的气体分离回收氯化氢； 步骤四、氢气的纯化经步骤三处理后的气体和尾气回收系统排放的富含非金属杂质的氢气同时提纯净化后进入还原反应系统参与反应。2.根据权利要求I所述的多晶硅生产尾气再回收利用的方法，其特征在于所述步骤一中的冷凝回收分两级回收一级回收大部分的四氯化硅、三氯氢硅及部分的二氯二氢硅，采用冷冻水冷凝；二级进一步回收未冷凝的四氯化硅、三氯氢硅和二氯二氢硅，采用冷媒介质冷凝。3.根据权利要求I所述的多晶硅生产尾气再回收利用的方法，其特征在于所述步骤三中的分离回收氯化氢采用吸附吸收方式；所述步骤四中氢气提纯净化过程采用纯化吸附方式。4.根据权利要求I所述的多晶硅生产尾气再回收利用的方法，其特征在于所述步骤二中在压缩前将步骤一中分离出的低温气体与压缩后热的混合气体进行热交换。5.一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，其特征在于包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统，其中， 所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐(I)、一级水冷器(2)、深冷器(3)、气液分离罐(4)，其中，尾气收集罐(I)的进气口与各精馏装置尾气输出口相连，尾气收集罐(I)的出气口与一级水冷器(2)的进口相连，一级水冷器(2)的出口与深冷器(3)的进口相连，深冷器(3)的出口与气液分离罐(4)相连，回收的冷凝液从第一氯硅烷回收罐的出液口流出返回精馏塔； 所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐(5)、尾气压缩装置(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈朝霞，银波，陈喜清，张伟，刘桂林，张吉武，周慧，
申请(专利权)人：特变电工新疆硅业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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