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一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:8127308
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本发明公开了一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法,包括如下步骤:步骤一、精馏装置尾气回收:将尾气进行两级冷凝,分离出的冷凝液去精馏塔提纯生产;步骤二、尾气再回收:将步骤一中分离的气体与还原反应系统的尾气充分混同后进行混压缩;步骤三、氯化氢吸收...
该专利属于特变电工新疆硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过特变电工新疆硅业有限公司授权不得商用。
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