多晶硅铸锭炉制造技术

技术编号:13844037 阅读:99 留言:0更新日期:2016-10-16 22:02
本实用新型专利技术公开了一种能够实现节能减排的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置流量控制阀,可以随着硅锭的不断生长,在保证硅锭不被氧化的前提下,通过调节流量控制阀,逐渐减小氩气的供应量,从而节约氩气,同时,氩气的供应量减小还避免了氩气进入炉体后再从抽气孔中排出的过程中带走大量的热量,可以大大降低加热器的能耗,实现节能减排,有利于节能环保,所述流量控制阀上连接有控制开关,所述控制开关上连接有计时器,通过预先设定计时器的时间,当计时器到达设定的时间,控制开关工作,进而对流量控制阀进行调节,整个过程无需工人进行现场监控,大大降低了工人的劳动强度。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产设备领域,尤其是一种多晶硅铸锭炉
技术介绍
太阳能电池可以将光能转换为电能,是现代节能社会发展的一个重点。根据基体材料的不同,现有的太阳能电池分为多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池和类单晶硅太阳能电池。其中,单晶硅太阳能电池的转化效率高,但生产成本也高,多晶硅太阳能电池的转化效率比单晶硅太阳能电池低1%-2%,但其生产成本也低,而类单晶硅太阳能电池是介于单晶硅电池和多晶硅太阳能电池之间的电池。综合考虑,目前市场上的太阳能电池仍以多晶硅太阳能电池为主。现有用于生产多晶硅太阳能电池的多晶硅锭通常采用铸锭工艺制的,铸锭工艺一般是通过多晶硅铸锭炉实现的,现有的多晶硅铸锭炉包括炉体,炉体上设置有抽气孔,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩放置在下托保温板上,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温罩上连接有能够使保温罩上下移动的升降杆,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台,所述石墨底板放置在热交换平台上,坩埚放置在石墨底板上,坩埚护板设置在坩埚外侧,侧部加热器设置在坩埚护板的外侧,石墨盖板设置在坩埚上方本文档来自技高网...

【技术保护点】
多晶硅铸锭炉,包括具有夹层空间的炉体(1),炉体(1)上设置有抽气孔(2),所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4),保温罩(4)放置在下托保温板(3)上,保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼,所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5),所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12),所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上,坩埚(6)放置在石墨底板(8)上,坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧,侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧,石墨盖板(9...

【技术特征摘要】
1.多晶硅铸锭炉,包括具有夹层空间的炉体(1),炉体(1)上设置有抽气孔(2),所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4),保温罩(4)放置在下托保温板(3)上,保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼,所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5),所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12),所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上,坩埚(6)放置在石墨底板(8)上,坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧,侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧,石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方,顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方,所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部,坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13),还包括进气管(14),所述进气管(14)的一端与氩气源(15)相连,另一端依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内,其特征在于:所述进气管(14)上设置有流量控制阀(19),所述流量控制阀(19)上连接有控制开关(23),所述控制开关(23)上连接有计时器(24)。2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16),所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161),所述空腔(161)内设置有换热管(162),所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎刘强冯加保徐文州樊茂德
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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