【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种坩埚,尤其是一种可调式石墨坩埚。
技术介绍
石墨坩埚应用在多晶硅定向凝固设备的热场中,对圆形石英坩埚进行支撑防护。石墨坩埚的作用是支撑石英坩埚在高温软化时变形量不超过设定值。由于圆形石英坩埚成型时有拔模斜度,导致石英坩埚开口直径大,底部直径小,如果使用直筒型的石墨坩埚,则石英坩埚底部不能得到石墨坩埚的有效支撑。目前,多晶硅行业定向凝固中主要采用两种石墨坩埚。第一种是采用整体石墨环式坩埚,此类石墨坩埚的不足之处是:(1)安装不方便;(2)使用成本较高;(3)环状石墨在感应炉内会受到电磁场的感应,感应生热,使热场发生较大变化。第二种是采用分瓣石墨板式坩埚,此类石墨坩埚的不足之处是:(1)石墨护板之间有缝隙,相邻护板无法相互支撑,坩埚破裂时会发生危险;(2)安装不方便,石墨护板之间有间隙要求,调整不方便;(3)分瓣式石墨坩埚在感应炉内也会受到电磁场的感应,相邻护板间产生电火花,对石英坩埚有一定危害。上述两种石墨坩埚存在的共性不足之处是:石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙,无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种可调式石墨坩埚,它有效解决了整体式石墨坩埚受感应发热的问题、不方便拆卸的问题及分瓣式石墨坩埚护板存在的相邻护板无法相互支撑、护板间隙不方便调整、易产生电火花的问题,以及石墨坩埚与石英坩埚之间存在间隙,无法紧密贴合对石英坩埚进行有效支撑的问题,其采用的技术方案如下:一种可调式石墨坩埚,其特征在于,包括:环形石墨卡箍、筒体和石墨底板,所述石墨底板的顶面开设有环形卡槽,所述筒体为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形,所 ...
【技术保护点】
一种可调式石墨坩埚,其特征在于,包括:环形石墨卡箍(1)、筒体(2)和石墨底板(3),所述石墨底板(3)的顶面开设有环形卡槽(30),所述筒体(2)为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形,所述筒体(2)由若干块石墨护板(20)依次拼合组成,所述石墨护板(20)底部放置于环形卡槽(30)中,所述筒体(2)的内壁面与具有拔模斜度的石英坩埚(4)的外壁面紧密贴合,所述石墨卡箍(1)箍于筒体(2)顶部。
【技术特征摘要】
1.一种可调式石墨坩埚,其特征在于,包括:环形石墨卡箍(1)、筒体(2)和石墨底板(3),所述石墨底板(3)的顶面开设有环形卡槽(30),所述筒体(2)为中空的顶部直径大底部直径小的圆台形,所述筒体(2)由若干块石墨护板(20)依次拼合组成,所述石墨护板(20)底部放置于环形卡槽(30)...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘善亮,袁涛,王士刚,
申请(专利权)人:大工青岛新能源材料技术研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:山东;37
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