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本实用新型公开了一种能够实现节能减排的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置流量控制阀,可以随着硅锭的不断生长,在保证硅锭不被氧化的前提下,通过调节流量控制阀,逐渐减小氩气的供应量,从而节约氩气,同时,氩气的供应量减小还避免了氩气进...该专利属于乐山新天源太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乐山新天源太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种能够实现节能减排的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置流量控制阀,可以随着硅锭的不断生长,在保证硅锭不被氧化的前提下,通过调节流量控制阀,逐渐减小氩气的供应量,从而节约氩气,同时,氩气的供应量减小还避免了氩气进...