【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种多晶硅生产领域，具体涉及改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收领域。
技术介绍
在改良西门子法生产多晶硅的氢化尾气、还原尾气回收系统，低压冷凝区主要是采用逐级冷却的方式进行冷却，同时尾气回收系统中液态氯化氢的采用电加热器进行加热汽化后输送至三氯氢硅合成使用，氢化尾气、还原尾气回收系统高压解析区的解析塔塔釜排出的高温贫液氯硅烷通过换热器水冷后，再用泵进行输送。合成尾气回收系统中高压解析区塔釜再沸器使用蒸汽进行加热，具体流程如下 氢化尾气或还原尾气回收系统低压区80 150°C尾气中的氢气、氯化氢、ニ氯ニ氢硅、三氯氢硅和四氯化硅等成分经过尾气水冷器、尾气气-气换热器、-20°C冷冻盐水换热器和尾气过冷器，将尾气温度降低至-30 -45°C，利用尾气中各组分的沸点不同，其中的ニ氯ニ氢硅、三氯氢硅和四氯化硅被冷凝下来储存在氯硅烷缓冲罐中。在解析塔塔顶，-40氯化氢液体被采出，送至汽化器进行电加热汽化。在上述过程中尾气携带大量热量需要冷媒进行逐渐冷却消耗冷量，而-40°C氯化氢液体携帯大量冷量需要热源进行加热消耗热量。在此过程可以看出改良西门子...
【技术保护点】
一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，包括步骤：a1、将80～150℃的尾气通过水冷器与循环水换热降温以后，尾气温度降至40～60℃；a2、40～60℃的尾气与解析出的，由低温？40℃氯化氢液体通过汽化器进行换热，将？40℃氯化氢液体加热成10～20℃氯化氢气体备用；a3、通过旁路阀调节40～60℃的尾气进入汽化器的流量，控制汽化器中？40℃液态氯化氢的汽化量及汽化器的氯化氢出口温度。
【技术特征摘要】
1.一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，包括步骤 al、将80 150°C的尾气通过水冷器与循环水换热降温以后，尾气温度降至40 60 0C ； a2、40 60°C的尾气与解析出的，由低温_40°C氯化氢液体通过汽化器进行换热，将_40°C氯化氢液体加热成10 20°C氯化氢气体备用； a3、通过旁路阀调节40 60°C的尾气进入汽化器的流量，控制汽化器中_40°C液态氯化氢的汽化量及汽化器的氯化氢出口温度。2.如权利要求I所述的氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，其特征在于，所述80 150 V的尾气是从氢化尾气或还原尾气回收系统中导出。3.如权利要求I所述的氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，其特征在于，所述_40°C氯化氢液体是从解析塔塔顶解析出的，由低温冷凝得到。4.如权利要求I至3中任一项所述的氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，其特征在于，还包括步骤a4、步骤a3中，40 60°C的尾气被降温至15 25°C。5.如权利要求4所述的氢化尾气、还原尾气热能回收工艺，其特征在于，还包括步骤a5、...
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，陈喜清，陈朝霞，叶冬梅，张吉武，
申请(专利权)人：特变电工新疆硅业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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