文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法技术

本发明专利技术涉及一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，包括将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化、使雾滴覆盖反应气流通面、反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相、将气液混合相分离、气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器等步骤。本发明专利技术解决了现有冷氢化工艺除尘方法不成熟的技术问题，满足了冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求，同时降低了反应气的温度、立式安装，具有结构简单、紧凑、占地面积小、维护少、运行稳定的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种湿法除尘方法，应用于多晶硅冷氢化工艺，用于除去反应气中夹带的细微娃粉，同时降低反应气的温度。
技术介绍
目前，主流的多晶氢化工艺中分为热氢化工艺及冷氢化工艺，冷氢化工艺因其较热氢化工艺能耗更低而具有更广阔的发展空间。但冷氢化工艺作为一个较新的工艺，对除尘方法未有成熟的经验。
技术实现思路
为了解决现有冷氢化工艺除尘方法不成熟的技术问题，本专利技术提供一种文丘里洗漆器除去冷氢化工艺反应气中的娃粉方法。本专利技术的技术解决方案:一种，其特殊之处在于:包括以下步骤:I将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2使雾滴覆盖反应气流通面； 3反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相；4将气液混合相分离；5气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。本专利技术所具有的优点:1、本专利技术应用于多晶硅工艺的高温、高压、耐磨工况，除尘效率高达98 %，满足了冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求，同时降低了反应气的温度。2、本专利技术方法所采用的设备均为静设备、立式安装，具有结构简单、紧凑、占地面积小、维护少、运行稳定的优点。3、本专利技术方法的设备压损小，制造及结构简单，且根据负荷可调。附图说明图1为本专利技术的原理示意图；图2为文丘里洗涤器的结构示意图；图3为图2中接受段的俯视图；其中:1-调节头，2-垂直调杆，3-防尘罩，4-导向套，5-支撑杆，6_限位块，7_偏心凸轮，8-水平调杆，9-支撑座，10-设备补强接管，11-接管法兰，12-密封法兰，13-紧固件，14-压盖法兰，15-紧固件，16-锁紧螺母，17-手轮，18-密封填料，19-密封件，20-设备壳体，21-螺纹配合，22-文丘里洗涤器，23-气液分离罐，30-反射板，31-气体入口，32-洗涤液管，33-主喷头，34-副喷头、35-接受段，36-喉部，38-混合段，39-气体出口。具体实施例方式本专利技术采用湿法除尘原理，使用副产品液态四氯化硅作为洗涤液，在设备内部雾化成雾滴并覆盖反应气流通面，使得反应气在流动中撞击液膜，由于反应气中的硅粉颗粒质量惯性被液滴捕捉达到除尘目的。除尘设备包括文丘里洗涤器及气液分离罐。高温含硅粉颗粒的气相由管路输送进文丘里洗涤器，同时液相的洗涤液(主要成分为相对低温的液态四氯化硅)由管路输送进文丘里洗涤器内部通过喷头喷出，反应气与喷出的洗涤液接触后进行传热交换，使得反应气温度降低，同时反应气中的硅粉颗粒在与洗涤液液滴接触过程中被液滴包裹、聚集而从反应气中去除。去除大量 硅粉颗粒的反应气及含有硅粉颗粒的洗涤液同时从文丘里洗涤器出口排出进入气液分离罐。由文丘里洗涤器排出的气相及液相(含固相硅粉)切向进入立式的气液分离罐，由于比重差异及气液分离罐分离空间的设置，气相从分离罐上部气相出口排出进入下一步工艺流程，液相(含固相硅粉)从分离罐下部液相出口排出进入下一步工艺流程(可对液相中的固相进行过滤后，液相返回文丘里洗涤器循环使用)。 文丘里洗涤器结构如下:I设备为直立管状结构，气体入口与气体出口同一轴线；2设备由接受段及混合段组成，其中接受段直径大于混合段直径；3在接受段设置洗涤液管，洗涤液管端部设置三个喷头，其中上部喷头与气体出入口同轴并使得洗涤液由喷头喷出后覆盖流通面积；下部两个喷头对称均布，喷出的洗涤液通过设备内部的反射板达到洗漆液撞击、分散的目的；4接受段与混合段直接连接，根据负荷需要可设置改变流通面积的喉管。本专利技术原理:为了满足冷氢化工艺去除反应气中夹带细微硅粉的要求，本方案中的设备考虑了反应气的温度(设计温度550°C )、硅粉颗粒对设备的磨损、工艺流程中的压降((0.08MPa)、材料选择、洗涤液喷淋等方面问题。设备满足冷氢化工艺硅粉颗粒去除的需要，使用液相的四氯化硅作为洗涤液直接对含硅粉颗粒的气相进行洗涤。高温含固的反应气由设备入口进行文丘里洗涤器后与主喷头3喷出的洗涤液膜直接接触，在反应气对洗涤液膜冲击的过程中，反应气中的固体颗粒与洗涤液滴接触，固体颗粒被洗涤液滴粘湿、包裹、捕捉，反应气穿过主喷头喷出的洗涤液膜后与副喷头4喷出的洗涤液进行大部分的热量交换，含固体颗粒的洗涤液进一步凝聚而从反应气中去除混合进入洗涤液中。含固体颗粒的洗涤液及反应气进入较长的混合段后进行进一步的热量交换以及气液相流动的稳定，最终从设备出口排出。如需对负荷调节，可通过混合段侧面的调节机构改变流通面积达到调节目的。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，其特征在于：包括以下步骤：1】将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2】使雾滴覆盖反应气流通面；3】反应气中的硅粉颗粒因质量惯性被液滴捕捉形成气液混合相；4】将气液混合相分离；5】气液混合相分离出的液态四氯化硅重新送入文丘里洗涤器。

【技术特征摘要】
1.一种文丘里洗涤器除去冷氢化工艺反应气中的硅粉方法，其特征在于:包括以下步 骤:I将冷氢工艺副产品液态四氯化硅通入文丘里洗涤器内部雾化；2使雾滴...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓肇冬，
申请(专利权)人：西安航天远征流体控制股份有限公司，
类型：发明
国别省市：