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一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置，包括合成炉和硅粉收集罐，合成炉通过金属软管与硅粉收集罐的接口连通，具体的说，所述合成炉的底部具有锥体结构，所述锥体结构的两端分别与氮气进口管线和正常氯化氢进气管线连通，在所述合成炉的锥体结构上部侧壁上设有硅...
该专利属于特变电工新疆硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特变电工新疆硅业有限公司授权不得商用。

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