一种立式合成石英玻璃沉积炉制造技术

一种立式合成石英玻璃沉积炉，它包括炉体，设置于所述炉体中的基础杆，及基础杆端头的沉积砣面，置于炉体外与基础杆相连并控制基础杆升降和转动的车床，置于所述炉体上向沉积砣面下料的燃烧器，以及用于排出炉体内烟气的烟囱，其特征在于：所述基础杆立置于所述车床上，从下向上伸入所述炉体内；所述基础杆顶端设沉积砣面，所述沉积砣面直径在２５０～５００毫米；所述炉体封闭设置。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

Vertical synthetic quartz glass deposition furnace

A vertical synthetic quartz glass deposition furnace, comprising a furnace body and a base rod arranged on the furnace body, and the rod end head weight based deposition surface, placed in the furnace body and foundation and foundation of control rod connected rod lifting and rotating lathe, burner disposed in the furnace body to the deposition weight under the surface the material, as well as for the exhaust gas in the furnace chimney, which is characterized in that the base pole arranged on the lathe, from bottom to top extends into the furnace body; the base rod is arranged at the top end of the deposition surface of the deposition weight, weight 250 ~ 500 mm in diameter; the furnace body seal closed set.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种沉积炉，具体讲是一种立式合成石英玻璃沉积炉。
技术介绍
现有的石英玻璃沉积炉均采用卧式炉，该炉的基础杆为横向设置，一端位于炉体内侧，与基础杆端口固定有一砣面，如图1所示，炉体为敞开式设置，其中中部为烟囱，炉体一端外侧设有燃烧器，另一端穿通有基础杆，基础杆穿出炉体的一端与一车床连接；石英玻璃的合成通常是在砣面上接受燃烧器下料结晶形成。卧式炉设置存在三方面问题其一是基础杆为横向设置，随着沉积砣重量增加和基础杆长度的增长，基础杆所承受的压力和张力成倍增长，进而造成基础杆的重力折断；其二基础杆横穿过室温至1500℃高温的温度场，由于沉积是一个缓慢的过程，基础杆长时间在这样的温度场内，会引起析晶，降低基础杆承受重量的强度，从而导致基础杆断裂，因而限制了生产大尺寸、大直径的石英玻璃；其三该卧式炉为敞开式生产，其炉温低、能耗大且效率低。由于上述问题，卧式炉生产出的石英玻璃锭一般10-20公斤，直径在150-180毫米，沉积速率为40-100克/小时，重量轻、直径小、效率低。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够解决基础杆强度问题，可生产大尺寸、大直径的石英玻璃并具较高沉积效率的立式合成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：顾真安，王玉芬，向在奎，饶传东，钟海，隋梅，
申请(专利权)人：中国建筑材料科学研究院，
类型：实用新型
国别省市：