一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构制造技术

技术编号:8175126 阅读:170 留言:0更新日期:2013-01-08 20:38
本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,电机的入风口(1)与真空管路出风口(2)之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管(3)和用于将波纹管(3)与电机的入风口(1)和真空管路出风口(2)相连接的若干固定机构。本实用新型专利技术的一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,可以减少管路的振动,使其管路与电机之间不宜脱开。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃制造业中用于抽真空的机构,尤其是一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构
技术介绍
目前在磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,真空管路与电机的入风口直接连接,由于在抽真空的时候管路会产生振动,导致电机的入风口与管路的连接处容易脱开
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提供一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构。为了达到上述目的,本技术的解决方案是一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,所述电机的入风口与真空管路出风口之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管和用于将波纹管与电机的入风口和真空管路出风口相连接的若干固定机构。根据本技术的技术方案所述,固定机构包括螺杆,螺杆的两端对称设有收紧装置,所述收紧装置,包括第一螺母、第二螺母连接片和卡口,所述第一螺母和二螺母设置在螺杆上,连接片设置在第一螺母和第二螺母之间,卡口通过一调节螺丝固定在连接片上。调节螺母主要用于调节卡口的大小。本技术的有益效果可以减少管路的振动,使其管路与电机之间不宜脱开。附图说明本技术将通过例子并参照附图的方式说明,其中图I是本技术的主视图。图中附图标记为1为电机入风口,2为真空管路出风口,3为波纹管,5为螺杆,6为第一螺母,7为第二螺母,8为连接片,9为卡口,10为调节螺丝。具体实施方式本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征,除非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非特别叙述,每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。参见图I所示的一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,电机的入风口 I与真空管路出风口 2之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管3和用于将波纹管3与电机的入风ロ I和真空管路出风ロ 2相连接的若干固定机构。所述固定机构包括螺杆5,螺杆的两端对称设有收紧装置,所述收紧装置,包括第一螺母6、第二螺母7、连接片8和卡ロ 9,所述第一螺母6和ニ螺母7设置在螺杆5上,连接片8设置在第ー螺母6和第二螺母7之间,卡ロ 9通过ー调节螺丝10固定在连接片8上。可以减少管路的振动,使其管路与电机之间不宜脱开。本技术并不局限于前述的具体实施方式。本技术扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合,以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合 ο权利要求1.ー种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,其特征是,电机的入风ロ(I)与真空管路出风ロ(2)之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管(3)和用于将波纹管(3)与电机的入风ロ(I)和真空管路出风ロ(2)相连接的若干固定机构。2.根据权利要求I所述的ー种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,其特征是,固定机构包括螺杆(5),螺杆的两端对称设有收紧装置,所述收紧装置,包括第一螺母(6)、第二螺母(7)、连接片(8)和卡ロ(9),所述第一螺母(6)和ニ螺母(7)设置在螺杆(5)上,连接片(8)设置在第一螺母(6)和第二螺母(7)之间,卡ロ(9)通过ー调节螺丝(10)固定在连接片(8)上。专利摘要本技术公开了一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,电机的入风口(1)与真空管路出风口(2)之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管(3)和用于将波纹管(3)与电机的入风口(1)和真空管路出风口(2)相连接的若干固定机构。本技术的一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,可以减少管路的振动,使其管路与电机之间不宜脱开。文档编号C23C14/56GK202643835SQ20122025357公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月1日 优先权日2012年6月1日专利技术者郭博, 郭亚霓 申请人:江阴沐祥节能装饰工程有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,其特征是,电机的入风口(1)与真空管路出风口(2)之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管(3)和用于将波纹管(3)与电机的入风口(1)和真空管路出风口(2)相连接的若干固定机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郭博郭亚霓
申请(专利权)人:江阴沐祥节能装饰工程有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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