【技术实现步骤摘要】
本技术涉及玻璃制造业中用于抽真空的机构,尤其是一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构。
技术介绍
目前在磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,真空管路与电机的入风口直接连接,由于在抽真空的时候管路会产生振动,导致电机的入风口与管路的连接处容易脱开
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提供一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构。为了达到上述目的,本技术的解决方案是一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,所述电机的入风口与真空管路出风口之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管和用于将波纹管与电机的入风口和真空管路出风口相连接的若干固定机构。根据本技术的技术方案所述,固定机构包括螺杆,螺杆的两端对称设有收紧装置,所述收紧装置,包括第一螺母、第二螺母连接片和卡口,所述第一螺母和二螺母设置在螺杆上,连接片设置在第一螺母和第二螺母之间,卡口通过一调节螺丝固定在连接片上。调节螺母主要用于调节卡口的大小。本技术的有益效果可以减少管路的振动,使其管路与电机之间不宜脱开。附图说明本技术将通过例子并参照附图的方式说明,其中图I是本技术的主视图。图中附图标记为1为电机入风口,2为真空管路出风口,3为波纹管,5为螺杆,6为第一螺母,7为第二螺母,8为连接片,9为卡口,10为调节螺丝。具体实施方式本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征,除非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非特别叙述,每个特征只是 ...
【技术保护点】
一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构,包括电机和真空管路,其特征是,电机的入风口(1)与真空管路出风口(2)之间设有密封缓冲装置,所述密封缓冲装置包括波纹管(3)和用于将波纹管(3)与电机的入风口(1)和真空管路出风口(2)相连接的若干固定机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭博,郭亚霓,
申请(专利权)人:江阴沐祥节能装饰工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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