对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置、衬底处理设备及组装该装置的方法制造方法及图纸

本公开涉及一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，该装置包括：具有密封表面(108)的本体(104)；形成在本体中的衬底开口(106)，其被构造为由柔性衬底横越；至少部分面向密封表面的弹性管(116)，其中弹性管具有用于连接气体供应源(136)的连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气。此外，本公开涉及一种用于组装对柔性衬底(16)的腔室入口或腔室出口进行密封的装置的方法，包括以下步骤：提供具有密封表面(108)的本体(104)，其中衬底开口(106)形成在本体中并被构造为由柔性衬底横越；将弹性管(116)插入本体中，使得弹性管(116)至少部分面对密封表面(108)，弹性管具有连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气；以及将弹性管的连接部连接到气体供应源(136)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置。特别是，本专利技术涉及一种具有本体以及形成在本体中的衬底开口的装置。此外，本专利技术涉及一种用于处理柔性衬底的衬底处理设备，该衬底处理设备包括第一腔室以及与第一腔室分离的第二腔室。另外，本专利技术涉及一种组装该装置的方法，该装置对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封。
技术介绍
在许多应用中，都需要在柔性衬底上沉积薄层。通常，柔性衬底在柔性衬底涂布设备的不同腔室中进行涂布。此外，柔性衬底原料(例如柔性衬底卷材)可以被布置在衬底涂布设备的一个腔室中。通常，利用真空沉积技术(例如物理气相沉积或化学气相沉积)来在真空中涂布柔性衬底。然而，为了在腔室中修复或更换某些装置，或为了对于柔性衬底原料进行重新填充或重新进料，至少其中一个腔室可以被加压至大气压，使得人能够进入腔室，或者柔性衬底原料能够被重新填充或收回。在其它实例中，在必须保养沉积设备时(例如需要更换溅镀设备的靶材时)，柔性衬底原料可以被保持在真空中。然而，衬底涂布设备的其它腔室可以仍保持抽真空。为了这些目的，特别是在柔性衬底横越两腔室之间的壁时，可以将该腔室对于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.07 EP 10159259.01.一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，所述装置包括 本体(104)，其具有密封表面(108)， 形成在所述本体中的衬底开口(106)，其被构造为由所述柔性衬底横越， 弹性管(116)，其至少部分地面向所述密封表面，其中 所述弹性管具有连接部，用于连接气体供应源(136)并且适合于在工作期间进行充气和抽气。2.根据权利要求I所述的装置，所述装置还包括 形成在所述本体中、与所述密封表面相对的凹部(110)，其中具体地，所述凹部(110)基本上为U形或在与所述弹性管的纵向轴正交的截面中具有基本半圆形截面。3.根据权利要求2所述的装置，其中 所述弹性管(116)至少部分布置在所述凹部中。4.根据在先权利要求中任一项所述的装置，其中 所述密封表面(108)形成在所述衬底开口(106)中。5.根据在先权利要求中任一项所述的装置，其中 刚性杆(124)被布置在所述弹性管(116)内，其中具体地，刚性管的内部与位于所述刚性管和所述弹性管之间的空间流体连通，所述刚性杆具体是刚性管。6.根据权利要求2到5中任一项所述的装置，其中 所述本体(104)包括至少一个管安装开口(126)，其沿着所述凹部(110)的纵向轴(X)的方向对所述凹部进行延伸，用于安装从由所述弹性管与所述刚性杆所组成的组中选择的至少一个组件。7.根据权利要求6所述的装置，其中 所述至少一个管安装开口(126)具有周围管安装开口密封表面(128)，其中所述弹性管被压抵到所述管安装开口密封表面(128)，使得避免沿着通过所述至少一个管安装开口的方向的流体流动，其中具体地，所述供应源开口密封表面基本上为圆锥形。8.根据权利要求6或7所述的装置，所述装置还包括 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔海因里希·温克，沃克尔·海克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：