本公开涉及一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，该装置包括：具有密封表面(108)的本体(104)；形成在本体中的衬底开口(106)，其被构造为由柔性衬底横越；至少部分面向密封表面的弹性管(116)，其中弹性管具有用于连接气体供应源(136)的连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气。此外，本公开涉及一种用于组装对柔性衬底(16)的腔室入口或腔室出口进行密封的装置的方法，包括以下步骤：提供具有密封表面(108)的本体(104)，其中衬底开口(106)形成在本体中并被构造为由柔性衬底横越；将弹性管(116)插入本体中，使得弹性管(116)至少部分面对密封表面(108)，弹性管具有连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气；以及将弹性管的连接部连接到气体供应源(136)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置。特别是，本专利技术涉及一种具有本体以及形成在本体中的衬底开口的装置。此外，本专利技术涉及一种用于处理柔性衬底的衬底处理设备，该衬底处理设备包括第一腔室以及与第一腔室分离的第二腔室。另外，本专利技术涉及一种组装该装置的方法，该装置对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封。
技术介绍
在许多应用中，都需要在柔性衬底上沉积薄层。通常，柔性衬底在柔性衬底涂布设备的不同腔室中进行涂布。此外，柔性衬底原料(例如柔性衬底卷材)可以被布置在衬底涂布设备的一个腔室中。通常，利用真空沉积技术(例如物理气相沉积或化学气相沉积)来在真空中涂布柔性衬底。然而，为了在腔室中修复或更换某些装置，或为了对于柔性衬底原料进行重新填充或重新进料，至少其中一个腔室可以被加压至大气压，使得人能够进入腔室，或者柔性衬底原料能够被重新填充或收回。在其它实例中，在必须保养沉积设备时(例如需要更换溅镀设备的靶材时)，柔性衬底原料可以被保持在真空中。然而，衬底涂布设备的其它腔室可以仍保持抽真空。为了这些目的，特别是在柔性衬底横越两腔室之间的壁时，可以将该腔室对于另一腔室密封。因此，即使是在柔性衬底横越两腔室之间的壁时，仍然可能有一个腔室具有非常低的压力、而另一个腔室具有相对高的压力。
技术实现思路
鉴于上述内容，本专利技术提供了一种根据权利要求I的用于密封腔室入口的装置、一种根据权利要求10的衬底处理设备以及一种根据权利要求11的方法。鉴于上述内容，提供了一种对用于柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的装置，装置包括具密封表面的本体、形成在本体中由柔性衬底横越的衬底开口以及至少部分面对密封表面的弹性管，其中弹性管具有连接部，其用于连接气体供应源并适合于在工作期间进行充气和抽气。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，装置还包括凹部，凹部形成在本体中且与密封表面相对，其中具体地凹部基本上为U形或在与弹性管纵向轴正交的截面上具有基本半圆形的截面。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，凹部特别是具有沟槽的形式。例如，在实施例中，凹部具有纵向轴，凹部的纵向轴基本上平行于弹性管的纵向轴。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，弹性管至少部分被布置在凹部中。例如，在实施例中，密封表面形成在衬底开口中。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，弹性管的纵向轴基本上正交于柔性衬底的传输方向。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，刚性杆(特别是刚性管)被布置在弹性管内，其中刚性管的内部与位于刚性管和弹性管之间的空间流体连通。在典型实施例中，刚性杆可以由金属制成，金属例如钢。在典型实施例中，刚性杆具有刚性管的形式。例如，在实施例中，本体包括至少一个管安装开口，管安装开口在凹部纵向轴的方向上对凹部进行延伸，用于安装从由弹性管和刚性杆所组成的组中选择的至少一个组件。 在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，至少一个管安装开口具有周围管安装开口密封表面，其中弹性管被压抵到管安装开口密封表面，使得避免沿着通过至少一个管安装开口的方向的流体流动，其中具体地，供应源开口密封表面基本上为圆锥形。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，装置还包括至少一个插头，插头分别被布置在管安装开口中，其中插头将弹性管压抵到安装开口密封表面，其中具体地，至少一个插头基本上为圆锥形。在典型实施例中，插头适用于安装开口密封表面。例如，在实施例中，至少一个插头维持刚性杆(特别是刚性管)。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，至少一个插头包括流体通道，用于将弹性管的内部连接到从由压力源和真空源所组成的组中选择的至少一个来源。例如，在实施例中，其中在充气状态下，弹性管的一部分压抵到面对衬底开口密封表面的凹部表面。根据另一方面，提供了一种用于处理柔性衬底的衬底处理设备，衬底处理设备包括第一腔室以及与第一腔室分离的第二腔室，以及根据这里公开的实施例所述的装置，其中装置选择性的开启或关闭第一与第二腔室之间的流体连接。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，装置设在第一与第二腔室之间的壁中。根据另一方面，提供了一种用于组装对柔性衬底的腔室入口或腔室出口进行密封的方法，方法包括以下步骤提供具有密封表面的本体，其中衬底开口形成在本体中以由柔性衬底横越；将弹性管插入本体中，使得弹性管至少部分面对密封表面，弹性管具有连接部并且适合于在工作期间进行充气和抽气；以及将弹性管的连接部连接到气体供应源。根据另一方面，装置还包括形成在本体中、相对于密封表面的凹部，其中方法包括将弹性管至少部分插入凹部中。例如，在实施例中，本体包括至少一个管供应源开口，其沿着纵向轴的方向对凹部进行延伸，其中弹性管通过管供应源开口而被引入凹部中。在可与本文所述的其它实施例组合的实施例中，方法还包括将弹性管压抵到至少一个管供应源开口的周围管供应源开口密封表面，以避免沿通过至少一个管供应源开口的方向的流体流动。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，方法可以包括将弹性管绕刚性杆布置，其中，特别是刚性杆具有刚性管的形式。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，密封表面具有纵向轴，并且包括中央部，其具体地基本上平行于弹性管或弹性管的纵向轴。此外，密封表面可以包括在密封表面的各纵向末端处的侧向部分，以及在各侧向部分与中央部之间的中间部分，其中具体地，弹性管被持久压抵到侧向部分，特别是在对弹性管进行充气或抽气时。例如，在实施例中，侧向部分与各个相邻中间部分之间的过渡曲率半径大于80mm，特别是大于90mm。例如，曲率半径可以介于90mm与120mm之间。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，中央部分与中间部分之间的过渡曲率半径分别大于80mm,特别是大于90mm。例如，曲率半径可以介于90mm与120mm之间。例如，在实施例中，中央部分与中间部分之间的过渡圆形区段的角度分别小于15度，特别是小于10度。例如，中央部分与中间部分的过渡角度介于5度与10度之间。在可与本文所述的其它实施例组合的典型实施例中，侧向部分与各个相邻中间部分之间的过渡圆形区段的角度小于15度，特别是小于10度。例如，侧向部分与各相邻中间部分之间的过渡角度介于5度与10度之间。例如，在实施例中，中间部分约为密封表面的纵向延伸开口的延伸部的5%与15%之间。附图说明对于本领域技术人员而言，完整且可实施的公开内容包括了最佳实施例，并且在说明书的其余部分中更具体地说明，包括参照说明书附图，其中图I示意性示出了壁的截面图，其包括用于密封腔室入口或腔室出口的装置；图2示意性示出了用于密封腔室入口或腔室出口的装置的沿图3中横向截面B-B的截面图；图3示意性示出了用于密封腔室入口或腔室出口的装置沿图2中纵向截面A-A的截面图；以及图4示出了组装用于密封腔室入口或腔室出口的装置的方法的流程图。具体实施例方式现将详细参照各种实施例来进行说明，其中在附图中描述了其一个或多个示例。每一个示例都仅用于说明，而非用于限制本专利技术。在附图的以下说明内，相同的附图标记代表相同的组件。通常，仅说明各个实施例中的差异处。图I示出了在第一腔室12与第二腔室14之间的壁10的截面侧视图。柔性衬底16在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.07 EP 10159259.01.一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，所述装置包括 本体(104)，其具有密封表面(108)， 形成在所述本体中的衬底开口(106)，其被构造为由所述柔性衬底横越， 弹性管(116)，其至少部分地面向所述密封表面，其中 所述弹性管具有连接部，用于连接气体供应源(136)并且适合于在工作期间进行充气和抽气。2.根据权利要求I所述的装置，所述装置还包括 形成在所述本体中、与所述密封表面相对的凹部(110)，其中具体地，所述凹部(110)基本上为U形或在与所述弹性管的纵向轴正交的截面中具有基本半圆形截面。3.根据权利要求2所述的装置，其中 所述弹性管(116)至少部分布置在所述凹部中。4.根据在先权利要求中任一项所述的装置，其中 所述密封表面(108)形成在所述衬底开口(106)中。5.根据在先权利要求中任一项所述的装置，其中 刚性杆(124)被布置在所述弹性管(116)内，其中具体地，刚性管的内部与位于所述刚性管和所述弹性管之间的空间流体连通，所述刚性杆具体是刚性管。6.根据权利要求2到5中任一项所述的装置，其中 所述本体(104)包括至少一个管安装开口(126)，其沿着所述凹部(110)的纵向轴(X)的方向对所述凹部进行延伸，用于安装从由所述弹性管与所述刚性杆所组成的组中选择的至少一个组件。7.根据权利要求6所述的装置，其中 所述至少一个管安装开口(126)具有周围管安装开口密封表面(128)，其中所述弹性管被压抵到所述管安装开口密封表面(128)，使得避免沿着通过所述至少一个管安装开口的方向的流体流动，其中具体地，所述供应源开口密封表面基本上为圆锥形。8.根据权利要求6或7所述的装置，所述装置还包括 ...
【专利技术属性】
技术研发人员：卡尔海因里希·温克，沃克尔·海克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：
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