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本公开涉及一种对用于柔性衬底(16)的腔室入口(18)或腔室出口进行密封的装置(100)，该装置包括：具有密封表面(108)的本体(104)；形成在本体中的衬底开口(106)，其被构造为由柔性衬底横越；至少部分面向密封表面的弹性管(116)...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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