【技术实现步骤摘要】
节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构
本技术涉及一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构。
技术介绍
双银LowE玻璃突出了玻璃对太阳热辐射的遮阳效果，将玻璃的高透光性与太阳热辐射的低透过性巧妙地结合在一起，有较高的可见光透过率，可有效地限制夏季室外的背景热辐射进入室内。镀膜玻璃(Reflectiveglass)也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。镀膜玻璃的生产方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气...
【技术保护点】
1.节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。/n
【技术特征摘要】
1.节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。
2.根据权利要求1所述的节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，所述调节定板位于调节动板的下方，调节动板固定连接在真空腔室的下表面，调节定板固定连接在支撑真空室的机台的上表面，调节部件包括一根固定在调节动板下表面的支撑柱及一根固定在调节动板下表面的支撑管，支撑柱充当调节溅射银靶间距的垫块，支撑管位于支撑柱的一侧，调节定板上设置U形孔，U形孔其两个孔口的位置分别与...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭博，郭亚霓，郭超，
申请(专利权)人：江阴沐祥节能装饰工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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