节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。本实用新型专利技术通过调节部件并配合波纹管可以实现根据不同真空腔室的情况合理调节磁控溅射银靶与基材的间距，最大化的降低边缘效应，并且由于每个真空腔室的情况不同，能够根据情况调节间距比以往单独制备定厚的金属垫块更好。

Energy saving and improved mechanism for adjusting the distance between silver targets in magnetron sputtering of double silver hollow glass

【技术实现步骤摘要】
节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构
本技术涉及一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构。
技术介绍
双银LowE玻璃突出了玻璃对太阳热辐射的遮阳效果，将玻璃的高透光性与太阳热辐射的低透过性巧妙地结合在一起，有较高的可见光透过率，可有效地限制夏季室外的背景热辐射进入室内。镀膜玻璃(Reflectiveglass)也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。镀膜玻璃的生产方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是目前最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。目前磁控溅射法还是应用地最多的方法，而磁控溅射银靶与基材间的间距设置得不恰当会造成边缘效应。
技术实现思路
本技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，可以实现根据不同真空腔室的情况合理调节磁控溅射银靶与基材的间距，最大化的降低边缘效应，并且由于每个真空腔室的情况不同，能够根据情况调节间距比以往单独制备定厚的金属垫块更好。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。环形的调节定板及调节动板避开了中部真空溅射的空间，调节部件设置在波纹管外侧，这样调节银靶与基材距离时不会影响内部、不会出现调节部件调节时干涉或触碰内部的靶材或待镀膜基材。进一步的技术方案是，调节定板位于调节动板的下方，调节动板固定连接在真空腔室的下表面，调节定板固定连接在支撑真空室的机台的上表面，调节部件包括一根固定在调节动板下表面的支撑柱及一根固定在调节动板下表面的支撑管，支撑柱充当调节溅射银靶间距的垫块，支撑管位于支撑柱的一侧，调节定板上设置U形孔，U形孔其两个孔口的位置分别与支撑管及支撑柱相对应，U形孔内适配设有橡胶棒。进一步的技术方案是，橡胶棒的一端固定连接在支撑柱下，另一端滑动设置在支撑管其管腔内，支撑柱的直径与支撑管的外径相同，U形孔其两个孔口的尺寸大于支撑柱的直径，支撑管上设置两个腰形孔，两个腰形孔相对设置且位于支撑管同一高度处，与腰形孔适配设有调节螺柱，与调节螺柱适配设有两个螺母，螺母内径大于腰形孔其半圆的直径，腰形孔其半圆的直径小于橡胶棒的直径。U形孔的尺寸与支撑柱的高度的选择决定了银靶间距可调节的范围，设置调节螺柱处于腰形孔处的位置决定了银靶间距，调节螺柱固定好后橡胶棒只能抵靠在调节螺柱的侧面，根据不同真空腔室的情况调节调节螺柱处于腰形孔处的不同位置以调节好最佳的银靶间距以最大化降低边缘效应。进一步的技术方案为，波纹管其分别与调节定板及调节动板相连的一端设置有固定连接在调节定板或调节动板上的密封圈。这样保证了真空腔室不会由于调节过程的存在而影响真空腔室的真空情况，仍然保证能够达到所要的真空度。本技术的优点和有益效果在于：通过调节部件并配合波纹管可以实现根据不同真空腔室的情况合理调节磁控溅射银靶与基材的间距，最大化的降低边缘效应，并且由于每个真空腔室的情况不同，能够根据情况调节间距比以往单独制备定厚的金属垫块更好；环形的调节定板及调节动板避开了中部真空溅射的空间，调节部件设置在波纹管外侧，这样调节银靶与基材距离时不会影响内部、不会出现调节部件调节时干涉或触碰内部的靶材或待镀膜基材。U形孔的尺寸与支撑柱的高度的选择决定了银靶间距可调节的范围，设置调节螺柱处于腰形孔处的位置决定了银靶间距，调节螺柱固定好后橡胶棒只能抵靠在调节螺柱的侧面，根据不同真空腔室的情况调节调节螺柱处于腰形孔处的不同位置以调节好最佳的银靶间距以最大化降低边缘效应。保证了真空腔室不会由于调节过程的存在而影响真空腔室的真空情况，仍然保证能够达到所要的真空度。附图说明图1是本技术一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构的示意图；图2是图1中调节定板与调节动板部分的主视图；图3是图1中调节定板、支撑柱及支撑管部分的放大示意图；图4是图3中支撑管的左视图。图中：1、调节定板；2、调节动板；3、波纹管；4、机台；5、支撑柱；6、支撑管；7、U形孔；8、橡胶棒；9、腰形孔；10、调节螺柱；11、螺母。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1至图4所示(为便于图示，图3中支撑管上仅示出腰形孔，未示出调节螺柱及螺母)，本技术是一种节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板1与调节动板2，调节定板1及调节动板2均为环形板，调节定板1与调节动板2之间固定设置环形的波纹管3，位于调节定板1与调节动板2之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管3的外侧。调节定板1位于调节动板2的下方，调节动板2固定连接在真空腔室的下表面，调节定板1固定连接在支撑真空室的机台4的上表面，调节部件包括一根固定在调节动板2下表面的支撑柱5及一根固定在调节动板2下表面的支撑管6，支撑柱5充当调节溅射银靶间距的垫块，支撑管6位于支撑柱5的一侧，调节定板1上设置U形孔7，U形孔7其两个孔口的位置分别与支撑管6及支撑柱5相对应，U形孔7内适配设有橡胶棒8。橡胶棒8的一端固定连接在支撑柱5下，另一端滑动设置在支撑管6其管腔内，支撑柱5的直径与支撑管6的外径相同，U形孔7其两个孔口的尺寸大于支撑柱5的直径，支撑管6上设置两个腰形孔9，两个腰形孔9相对设置且位于支撑管6同一高度处，与腰形孔9适配设有调节螺柱10，与调节螺柱10适配设有两个螺母11，螺母11内径大于腰形孔9其半圆的直径，腰形孔9其半圆的直径小于橡胶棒8的直径。波纹管3其分别与调节定板1及调节动板2相连的一端设置有固定连接在调节定板1或调节动板2上的密封圈。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。/n

【技术特征摘要】
1.节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，包括设置在磁控溅射镀膜机其真空腔室下方的调节定板与调节动板，调节定板及调节动板均为环形板，调节定板与调节动板之间固定设置环形的波纹管，位于调节定板与调节动板之间设置至少两组调节部件，调节部件位于波纹管的外侧。


2.根据权利要求1所述的节能改进型双银中空玻璃磁控溅射银靶间距调节机构，其特征在于，所述调节定板位于调节动板的下方，调节动板固定连接在真空腔室的下表面，调节定板固定连接在支撑真空室的机台的上表面，调节部件包括一根固定在调节动板下表面的支撑柱及一根固定在调节动板下表面的支撑管，支撑柱充当调节溅射银靶间距的垫块，支撑管位于支撑柱的一侧，调节定板上设置U形孔，U形孔其两个孔口的位置分别与...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭博，郭亚霓，郭超，
申请(专利权)人：江阴沐祥节能装饰工程有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32