一种辅助阳极装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种辅助阳极装置，包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；支撑座和锁紧件为绝缘材料；支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔；冷却水面板放置在支撑座上端；冷却水面板上具有进水口和出水口；冷却水管道安装在冷却水面板下方且穿过第二圆孔；接线柱固定在冷却水面板上端；锁紧件顶压在冷却水面板上端面的周边且通过螺丝锁紧在阴极板上；体现出本实用新型专利技术镀膜更加均匀。

An auxiliary anode device

【技术实现步骤摘要】
一种辅助阳极装置
本技术涉及镀膜设备领域，特别涉及一种辅助阳极装置。
技术介绍
辅助阳极是通过改变放电空间内的电场分布情况实现对放电空间内的等离子体性能进行改进，而磁控溅射具有诸多优点的同时，也存在沉积速率低、靶面刻蚀不均与靶材利用率低等缺点；辅助阳极技术是镀膜过程中获得高离化率的有效方法之一，因此可以在一定程度上克服上述缺陷；但是以往的辅助阳极是安装在真空腔的一侧，导致粒子运动的轨迹不均匀，从而工件各位置所镀的薄膜也并不够均匀，因此还需进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种镀膜均匀的辅助阳极装置。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种辅助阳极装置，包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；所述阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；所述辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；所述支撑座和锁紧件为绝缘材料；所述支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；所述支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；所述支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种辅助阳极装置，其特征在于：包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；所述阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；所述辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；所述支撑座和锁紧件为绝缘材料；所述支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；所述支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；所述支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔；所述冷却水面板放置在支撑座上端；所述冷却水面板上具有进水口和出水口；所述冷却水管道安装在冷却水面板下方且穿过第二圆孔；所述接线柱固定在冷却水面板上端；所述锁紧件顶压在冷却水面板上端面的周边且通过螺丝锁紧在阴极板上...

【技术特征摘要】
1.一种辅助阳极装置，其特征在于：包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；所述阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；所述辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；所述支撑座和锁紧件为绝缘材料；所述支撑座伸入阴极板的第一圆孔内；所述支撑座的上端设有支撑在第一圆孔上端的凸环；所述支撑座中心具有供冷却水管道穿过的第二圆孔；所述冷却水面板放置在支撑座上端；所述冷却水面板上具有进水口和出水口；所述冷却水管道安装在冷却水面板下方且穿过第二圆孔；所述接线柱固定在冷却水面板上端；所述锁紧件顶压在冷却水面板上端面的周边且通过螺丝锁紧在阴极板上。


2.根据权利要求1所述的一种辅助阳极...

【专利技术属性】
技术研发人员：李立升，林海天，岑洪师，
申请(专利权)人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44