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本实用新型提供一种辅助阳极装置，包括安装在真空腔体内的阴极板、以及安装在阴极板上的辅助阳极组件；阴极板上设有第一圆孔以及在第一圆孔周围均匀分布有若干个溅射源；辅助阳极组件包括支撑座、锁紧件、冷却水面板、冷却水管道和接线柱；支撑座和锁紧件为绝...
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