本申请涉及一种引弧针限流装置，包括引弧针、可调电阻和电阻调节组件；可调电阻与引弧针串联，可调电阻的阻值能够调整；电阻调节组件连接于可调电阻，用于调整可调电阻的与引弧针串联部分的阻值大小。通过将引弧针连接可调电阻，可以降低引弧针点靶的瞬间电流，从而防止因电流过大而烧坏引弧针，而且通过设置可调电阻，并利用电阻调节组件调节可调电阻的阻值大小，能够在经过多次点靶测试后选择最合适的阻值大小，以获得更合适的引弧针点靶的瞬间电流，从而在引弧过程中尽可能地保护引弧针，同时获得较佳的引弧效果。时获得较佳的引弧效果。时获得较佳的引弧效果。
【技术实现步骤摘要】
引弧针限流装置
[0001]本申请涉及镀膜设备
，特别是涉及一种引弧针限流装置。
技术介绍
[0002]电弧燃烧实际上就是两电极间隙中气体与其他蒸汽不断发生各种电离的过程。引弧是将两属电极互相靠近，保持较小的距离(甚至瞬间接触再拉开一定距离)使两极间气体发生电离而引燃电弧的方式。常用的引弧方式是以短路引弧。
[0003]真空镀膜引弧机构通常分为机械触发式和高频脉冲放电非接触式两种结构。真空镀膜机械触发式是依赖引弧针与阴极表面接触，由于真空镀膜引弧针与真空镀膜阴极表面构成一个大电流回路，在两个电极迅速通/断的瞬间，引起大电流脉冲放电，因放电局部高温而引燃电弧放电。引弧针点靶的瞬间电流过大时会烧坏引弧针，烧坏的部分会在高能量的作用下形成较大颗粒，可能会溅落到基体表面，对基体的质量造成影响。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要提供一种引弧针限流装置，旨在解决现有技术存在的引弧针点靶的瞬间电流过大的问题。
[0005]本申请提供一种引弧针限流装置，包括引弧针、可调电阻和电阻调节组件；所述可调电阻电与所述引弧针串联，所述可调电阻的阻值能够调整；所述电阻调节组件连接于所述可调电阻，用于调整所述可调电阻的与所述引弧针串联部分的阻值大小。
[0006]通过将引弧针连接可调电阻，可以通过将可调电阻设置于较大阻值以降低引弧针点靶的瞬间电流，从而防止因电流过大而烧坏引弧针；而且通过设置可调电阻，并利用电阻调节组件调节可调电阻的阻值大小，能够在经过多次点靶测试后选择最合适的阻值大小，以获得更合适的引弧针点靶的瞬间电流，从而在引弧过程中尽可能地保护引弧针，同时获得较佳的引弧效果。
[0007]下面对本申请的技术方案作进一步的说明：
[0008]在任意实施方式中，所述可调电阻包括电阻丝和电阻调节针脚，所述电阻丝的一端电连接于所述引弧针，所述电阻调节针脚相对所述电阻丝滑动以调整所述可调电阻的阻值，所述电阻调节针脚连接于所述电阻调节组件。
[0009]在任意实施方式中，所述电阻调节组件包括伸缩件，所述伸缩件位于所述可调电阻的一侧，所述伸缩件伸长或缩短以带动所述电阻调节针脚相对所述电阻丝滑动。
[0010]在任意实施方式中，所述伸缩件包括固定端和伸缩端，所述电阻调节针脚连接于所述伸缩端。
[0011]在任意实施方式中，所述电阻调节组件还包括控制器，所述控制器用于控制所述伸缩件伸长或缩短的行程。
[0012]在任意实施方式中，所述伸缩件为电缸。
[0013]在任意实施方式中，所述电阻调节针脚的一端连接于所述电阻丝远离所述引弧针
的一端，所述电阻调节针脚的另一端与所述电阻丝抵接并能够相对所述电阻丝滑动。
[0014]在任意实施方式中，所述电阻调节针脚的两端均与所述电阻丝电连接。
[0015]在任意实施方式中，所述电阻调节组件与所述可调电阻绝缘连接。
[0016]在任意实施方式中，所述可调电阻通过导线连接所述引弧针。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施方式及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本申请一实施方式所示的引弧针限流装置的结构示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]100、引弧针限流装置；110、引弧针；120、可调电阻；121、电阻丝；122、电阻调节针脚；130、电阻调节组件；131、伸缩件；1311、固定端；1312、伸缩端；132、控制器；140、导线；
[0022]200、靶材。
具体实施方式
[0023]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同；本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
[0025]在本申请实施方式的描述中，术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0026]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种引弧针限流装置，其特征在于，包括：引弧针；可调电阻，所述可调电阻与所述引弧针串联；电阻调节组件，所述电阻调节组件连接于所述可调电阻，用于调整所述可调电阻的与所述引弧针串联部分的阻值大小。2.根据权利要求1所述的引弧针限流装置，其特征在于，所述可调电阻包括电阻丝和电阻调节针脚，所述电阻丝的一端电连接于所述引弧针，所述电阻调节针脚相对所述电阻丝滑动以调整所述可调电阻的阻值，所述电阻调节针脚连接于所述电阻调节组件。3.根据权利要求2所述的引弧针限流装置，其特征在于，所述电阻调节组件包括伸缩件，所述伸缩件位于所述可调电阻的一侧，所述伸缩件伸长或缩短以带动所述电阻调节针脚相对所述电阻丝滑动。4.根据权利要求3所述的引弧针限流装置，其特征在于，所述伸缩件包括固定端和伸缩端，所述电阻调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨恺，林海天，李立升，董得平，
申请(专利权)人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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