【技术实现步骤摘要】
一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置
本技术涉及靶材加工设备
，具体为一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。
技术介绍
溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材，随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平，喷涂制备金属靶材是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程，但是在进行喷涂的过程中，大多数的设备会将设备内部空气中抽出在进行喷涂，以防止原材料表面氧化，保障产品质量，凡无法在设备的内部注入更为合适的氩气，进而不利于较为快速的进行喷涂作业，且内部的靶材装置与衬管无法进行相对的转动，进一步的影响到喷涂质量，进而容易造成喷涂效率降低，生产成本较高的情况出现。
技术实现思路
本技...
【技术保护点】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓（1），其特征在于：所述喷涂仓（1）的内壁中心底端固接有横板（2），所述喷涂仓（1）的内部中心右侧设有衬管（3），所述喷涂仓（1）的内部中心左侧设有靶材装置（4），所述衬管（3）和靶材装置（4）均通过支撑座组件（5）与喷涂仓（1）相连接，所述喷涂仓（1）的左侧设有喷气装置（6），所述喷涂仓（1）的左侧表面底端固接有第一支板（7），所述第一支板（7）的上表面放置有电源（8），所述电源（8）的左右两侧均固接有导线（9），所述喷涂仓（1）的内部底端左侧固接有基座（10），所述基座（10）的上表面固接有电机（11），所述电机（...
【技术特征摘要】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓（1），其特征在于：所述喷涂仓（1）的内壁中心底端固接有横板（2），所述喷涂仓（1）的内部中心右侧设有衬管（3），所述喷涂仓（1）的内部中心左侧设有靶材装置（4），所述衬管（3）和靶材装置（4）均通过支撑座组件（5）与喷涂仓（1）相连接，所述喷涂仓（1）的左侧设有喷气装置（6），所述喷涂仓（1）的左侧表面底端固接有第一支板（7），所述第一支板（7）的上表面放置有电源（8），所述电源（8）的左右两侧均固接有导线（9），所述喷涂仓（1）的内部底端左侧固接有基座（10），所述基座（10）的上表面固接有电机（11），所述电机（11）的右侧固接有转杆（12），所述转杆（12）的右侧设有半圆板（13），所述半圆板（13）与转杆（12）转动相连，所述半圆板（13）与喷涂仓（1）固定相连，所述转杆（12）的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮（14），所述第一伞形齿轮（14）的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮（15），所述第二伞形齿轮（15）的上表面中心固接有圆柱（16），两个所述圆柱（16）的顶端分别与两个底端支撑座组件（5）固定相连，所述喷涂仓（1）的左表面顶端固接有第二支板（17），所述第二支板（17）的上表面固接有真空泵（18），所述真空泵（18）的左侧固接有连管（19），所述连管（19）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述连管（19）与喷涂仓（1）固定相连，所述连管（19）的管道上安装有阀门（20），所述喷涂仓（1）的右表面固接有托板（21），所述托板（21）的内部放置有氩气瓶（22），所述氩气瓶（22）的顶端固接左侧有横管（23），所述横管（23）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述横管（23）与喷涂仓（1）固定相连。
2.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述支撑座组件（5）包括套筒（501）、密封轴承（502）、立杆（503）、卡块（504）、压缩弹簧（505）、滑槽（506）、滑块（507）和金属环（508），四个所述套筒（501）分别位于喷涂仓（1）的上表面中心左右两侧及横板（2）的上表面中心左右两侧，顶端两个所述套筒（501）通过密封轴承（502）与...
【专利技术属性】
技术研发人员：胥小勇，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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