一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓，所述喷涂仓的内壁中心底端固接有横板，所述喷涂仓的内部中心右侧设有衬管，所述喷涂仓的内部中心左侧设有靶材装置，所述衬管和靶材装置均通过支撑座组件与喷涂仓相连接，所述喷涂仓的左侧设有喷气装置。该便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，通过喷涂仓、横板、衬管、靶材装置、支撑座组件、喷气装置、电机、转杆、第一伞形齿轮、第二伞形齿轮和圆柱之间的配合，在进行喷涂作业前可以使喷涂仓的内部注入适量的氩气，继而可以提高设备的喷涂效率，可以使靶材装置与衬管进行相对转动，进而使设备喷涂效率得到提高，生产成本得到降低。

A convenient spraying device for metal target production and processing

【技术实现步骤摘要】
一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置
本技术涉及靶材加工设备
，具体为一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。
技术介绍
溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材，随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平，喷涂制备金属靶材是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程，但是在进行喷涂的过程中，大多数的设备会将设备内部空气中抽出在进行喷涂，以防止原材料表面氧化，保障产品质量，凡无法在设备的内部注入更为合适的氩气，进而不利于较为快速的进行喷涂作业，且内部的靶材装置与衬管无法进行相对的转动，进一步的影响到喷涂质量，进而容易造成喷涂效率降低，生产成本较高的情况出现。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，以解决上述
技术介绍
中提出的进行喷涂的过程中，大多数的设备会将设备内部空气中抽出在进行喷涂，以防止原材料表面氧化，保障产品质量，但无法在设备的内部注入更为合适的氩气，进而不利于较为快速的进行喷涂作业，且内部的靶材装置与衬管无法进行相对的转动，进一步的影响到喷涂效率，进而容易造成喷涂效率降低，生产成本较高的情况出现问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓，所述喷涂仓的内壁中心底端固接有横板，所述喷涂仓的内部中心右侧设有衬管，所述喷涂仓的内部中心左侧设有靶材装置，所述衬管和靶材装置均通过支撑座组件与喷涂仓相连接，所述喷涂仓的左侧设有喷气装置，所述喷涂仓的左侧表面底端固接有第一支板，所述第一支板的上表面放置有电源，所述电源的左右两侧均固接有导线，所述喷涂仓的内部底端左侧固接有基座，所述基座的上表面固接有电机，所述电机的右侧固接有转杆，所述转杆的右侧设有半圆板，所述半圆板与转杆转动相连，所述半圆板与喷涂仓固定相连，所述转杆的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮，所述第一伞形齿轮的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮，所述第二伞形齿轮的上表面中心固接有圆柱，两个所述圆柱的顶端分别与两个底端支撑座组件固定相连，所述喷涂仓的左表面顶端固接有第二支板，所述第二支板的上表面固接有真空泵，所述真空泵的左侧固接有连管，所述连管的另一端贯穿喷涂仓，所述连管与喷涂仓固定相连，所述连管的管道上安装有阀门，所述喷涂仓的右表面固接有托板，所述托板的内部放置有氩气瓶，所述氩气瓶的顶端固接左侧有横管，所述横管的另一端贯穿喷涂仓，所述横管与喷涂仓固定相连。优选的，所述支撑座组件包括套筒、密封轴承、立杆、卡块、压缩弹簧、滑槽、滑块和金属环，四个所述套筒分别位于喷涂仓的上表面中心左右两侧及横板的上表面中心左右两侧，顶端两个所述套筒通过密封轴承与喷涂仓转动相连，底端两个所述套筒通过密封轴承与横板转动相连，底端两个所述套筒分别与两个圆柱固定相连，所述套筒的内侧端部插入有立杆，所述立杆的内侧端部固接有卡块，左侧两个所述卡块与靶材装置的上下两端相抵紧，右侧两个所述卡块与衬管的上下两端相抵紧，所述立杆的外侧端部固接有压缩弹簧，所述压缩弹簧与套筒的内部底端固定相连，所述套筒的内壁左右两侧均开有滑槽，所述滑槽的内部滑动卡接有滑块，两个所述滑块分别固接在立杆外壁底端的左右两侧，左侧两个套筒的外壁外侧均固接有金属环，所述金属环与导线电性相连。优选的，所述滑槽与滑块构成滑动机构。优选的，所述卡块、立杆、套筒、圆柱和第二伞形齿轮的中心点均位于同一条水平垂直线上。优选的，所述喷气装置包括存气罐、底座、插管、调压阀、竖管和喷头，所述存气罐位于喷涂仓的左侧，所述存气罐的外壁底端开有底座，所述存气罐的顶端右侧固接有插管，所述插管的一部分贯穿喷涂仓，所述插管与喷涂仓固定相连，所述插管的管道上安装有调压阀，所述插管的右侧固接有竖管，所述竖管的外壁从上到下依次固接有多个喷头。优选的，所述存气罐的外壁底端与底座相契合。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，在进行使用的过程中，通过喷涂仓、横板、衬管、靶材装置、支撑座组件、喷气装置、电机、转杆、第一伞形齿轮、第二伞形齿轮和圆柱之间的配合，在进行喷涂作业前可以使喷涂仓的内部注入适量的氩气，继而可以提高设备的喷涂效率，且在喷涂作业过程中将电机进行通电，可以使靶材装置与衬管进行相对转动，进一步的提高喷涂效率，进而使设备喷涂效率得到提高，生产成本得到降低。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为图1转杆、支撑座组件和靶材装置的连接结构示意图。图3为图1喷涂仓和喷气装置的连接结构示意图。图4为图1喷涂仓、氩气瓶和横管的连接结构示意图。图中：1、喷涂仓，2、横板，3、衬管，4、靶材装置，5、支撑座组件，501、套筒，502、密封轴承，503、立杆，504、卡块，505、压缩弹簧，506、滑槽，507、滑块，508、金属环，6、喷气装置，601、存气罐，602、底座，603、插管，604、调压阀，605、竖管，606、喷头，7、第一支板，8、电源，9、导线，10、基座，11、电机，12、转杆，13、半圆板，14、第一伞形齿轮，15、第二伞形齿轮，16、圆柱，17、第二支板，18、真空泵，19、连管，20、阀门，21、托板，22、氩气瓶，23、横管。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓1，喷涂仓1的前表面安装有密封门，喷涂仓1的内壁中心底端固接有横板2，喷涂仓1的内部中心右侧设有衬管3，喷涂仓1的内部中心左侧设有靶材装置4，衬管3和靶材装置4均通过支撑座组件5与喷涂仓1相连接，喷涂仓1的左侧设有喷气装置6，喷涂仓1的左侧表面底端固接有第一支板7，第一支板7的上表面放置有电源8，电源8为脉冲式电源，电源8的左右两侧均固接有导线9，喷涂仓1的内部底端左侧固接有基座10，基座10的上表面固接有电机11，电机11的输出轴与ECMA-E11320RS，电机11的右侧固接有转杆12，电机11的输出轴与转杆12固定相连，转杆12的右侧设有半圆板13，半圆板13与转杆12转动相连，转杆12通过滚珠轴承与半圆板13转动相连，滚珠轴承的内圈与转杆12固定相连，滚珠轴承的外圈与半圆板13固定相连，半圆板13与喷涂仓1固定相连，转杆12的外壁左右两侧均固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓（1），其特征在于：所述喷涂仓（1）的内壁中心底端固接有横板（2），所述喷涂仓（1）的内部中心右侧设有衬管（3），所述喷涂仓（1）的内部中心左侧设有靶材装置（4），所述衬管（3）和靶材装置（4）均通过支撑座组件（5）与喷涂仓（1）相连接，所述喷涂仓（1）的左侧设有喷气装置（6），所述喷涂仓（1）的左侧表面底端固接有第一支板（7），所述第一支板（7）的上表面放置有电源（8），所述电源（8）的左右两侧均固接有导线（9），所述喷涂仓（1）的内部底端左侧固接有基座（10），所述基座（10）的上表面固接有电机（11），所述电机（11）的右侧固接有转杆（12），所述转杆（12）的右侧设有半圆板（13），所述半圆板（13）与转杆（12）转动相连，所述半圆板（13）与喷涂仓（1）固定相连，所述转杆（12）的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮（14），所述第一伞形齿轮（14）的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮（15），所述第二伞形齿轮（15）的上表面中心固接有圆柱（16），两个所述圆柱（16）的顶端分别与两个底端支撑座组件（5）固定相连，所述喷涂仓（1）的左表面顶端固接有第二支板（17），所述第二支板（17）的上表面固接有真空泵（18），所述真空泵（18）的左侧固接有连管（19），所述连管（19）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述连管（19）与喷涂仓（1）固定相连，所述连管（19）的管道上安装有阀门（20），所述喷涂仓（1）的右表面固接有托板（21），所述托板（21）的内部放置有氩气瓶（22），所述氩气瓶（22）的顶端固接左侧有横管（23），所述横管（23）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述横管（23）与喷涂仓（1）固定相连。/n...

【技术特征摘要】
1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓（1），其特征在于：所述喷涂仓（1）的内壁中心底端固接有横板（2），所述喷涂仓（1）的内部中心右侧设有衬管（3），所述喷涂仓（1）的内部中心左侧设有靶材装置（4），所述衬管（3）和靶材装置（4）均通过支撑座组件（5）与喷涂仓（1）相连接，所述喷涂仓（1）的左侧设有喷气装置（6），所述喷涂仓（1）的左侧表面底端固接有第一支板（7），所述第一支板（7）的上表面放置有电源（8），所述电源（8）的左右两侧均固接有导线（9），所述喷涂仓（1）的内部底端左侧固接有基座（10），所述基座（10）的上表面固接有电机（11），所述电机（11）的右侧固接有转杆（12），所述转杆（12）的右侧设有半圆板（13），所述半圆板（13）与转杆（12）转动相连，所述半圆板（13）与喷涂仓（1）固定相连，所述转杆（12）的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮（14），所述第一伞形齿轮（14）的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮（15），所述第二伞形齿轮（15）的上表面中心固接有圆柱（16），两个所述圆柱（16）的顶端分别与两个底端支撑座组件（5）固定相连，所述喷涂仓（1）的左表面顶端固接有第二支板（17），所述第二支板（17）的上表面固接有真空泵（18），所述真空泵（18）的左侧固接有连管（19），所述连管（19）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述连管（19）与喷涂仓（1）固定相连，所述连管（19）的管道上安装有阀门（20），所述喷涂仓（1）的右表面固接有托板（21），所述托板（21）的内部放置有氩气瓶（22），所述氩气瓶（22）的顶端固接左侧有横管（23），所述横管（23）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述横管（23）与喷涂仓（1）固定相连。


2.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述支撑座组件（5）包括套筒（501）、密封轴承（502）、立杆（503）、卡块（504）、压缩弹簧（505）、滑槽（506）、滑块（507）和金属环（508），四个所述套筒（501）分别位于喷涂仓（1）的上表面中心左右两侧及横板（2）的上表面中心左右两侧，顶端两个所述套筒（501）通过密封轴承（502）与...

【专利技术属性】
技术研发人员：胥小勇，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35