一种圆形金属靶材除杂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳、粗杆和第二外壳，所述横杆的右侧固接有厚板，所述横杆的正面通过销轴转动相连有弧形板，所述弧形板的顶部通过销轴转动相连有窄板，所述窄板的后端面销轴固接有第一齿轮，所述第一齿轮的后端面通过销轴与第二外壳的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮的左侧啮合相连有第二齿轮，所述第二齿轮的后端面与第一电机的输出端固定连接，所述第一电机的左侧通过支架与第二外壳的内壁左侧固定连接。该装置通过滑杆、滑套和横杆之间的配合，第一电机间接带动横杆运动，横杆运动时间接带动厚板将靶材固定，解决了靶材活动的问题，满足现代人们的工作需求，提高了实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种圆形金属靶材除杂装置
本技术涉及圆形金属靶材除杂装置
，具体为一种圆形金属靶材除杂装置。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，在使用之前需要对靶材进行除杂以免影响后续使用。但是现有装置在进行工作时不能将靶材进行固定，会导致靶材活动，无法满足现代人们的工作需求，降低了实用性，并且现有装置无法进行多个位置的清洗需要频繁的更换靶材的位置，降低了工作效率，增加了拉动力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种圆形金属靶材除杂装置，以解决上述
技术介绍
中提出的不能将靶材进行固定，会导致靶材活动，无法满足现代人们的工作需求，降低了实用性的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳、粗杆和第二外壳，所述第一外壳的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆，两个所述粗杆的内侧均固接有第二外壳，其特征在于：两个所述第二外壳的内部均设有夹持装置；所述夹持装置包括滑杆、滑套、横杆、竖杆、厚板、弧形板、窄板、第一齿轮、第二齿轮、第一电机和支架；所述滑杆的底部与左侧第二外壳的内壁底部左侧固定连接，所述滑杆的外壁滑动卡接有滑套，所述滑套的右侧固接有横杆，所述横杆的右侧内壁滑动卡接有竖杆，所述竖杆的底部与第二外壳的内壁底部右侧固定连接，所述横杆的右侧固接有厚板，所述横杆的正面通过销轴转动相连有弧形板，所述弧形板的顶部通过销轴转动相连有窄板，所述窄板的后端面销轴固接有第一齿轮，所述第一齿轮的后端面通过销轴与第二外壳的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮的左侧啮合相连有第二齿轮，所述第二齿轮的后端面与第一电机的输出端固定连接，所述第一电机的左侧通过支架与第二外壳的内壁左侧固定连接。优选的，所述滑杆和滑套构成滑动限位机构。优选的，两个所述弧形板关于第一齿轮呈中心对称。优选的，所述第一外壳的顶部左右两侧均设有喷洒装置；所述喷洒装置包括水箱、斜管和水泵；两个所述水箱的底部分别与第一外壳的顶部左右两侧固定连接，两个所述水箱的内侧均连通有斜管，两个所述斜管的内侧与第一外壳的顶部左右两侧相连通，两个所述斜管的内端均固接有水泵。优选的，两个所述水箱的顶部均安装有橡胶塞。优选的，所述第一外壳的内部上方设有清理装置；所述清理装置包括第二电机、丝杆、套筒、毛刷和滑块；所述第二电机的左侧与第一外壳的内壁左侧顶部固定连接，所述第二电机的输出端固接有丝杆，所述丝杆的外壁滑动卡接有套筒，所述套筒的底部固接有毛刷，所述套筒的顶部固接有滑块，所述滑块的外壁与第一外壳的内壁顶部左侧凹槽滑动卡接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该圆形金属靶材除杂装置，相对比于传统技术，具有以下优点：通过滑杆、滑套和横杆之间的配合，第一电机间接带动横杆运动，横杆运动时间接带动厚板将靶材固定，解决了靶材活动的问题，满足现代人们的工作需求，提高了实用性。通过丝杆、滑块和第二电机之间的配合，第二电机带动丝杆转动间接带动套筒运动，进而带动毛刷左右运动，同时左侧的粗杆可连接动力源带动靶材转动，解决了无法对多个位置进行清理的问题，不需要频繁的更换靶材的位置，提高了工作效率，降低了劳动力。附图说明图1为本技术结构示意图。图2为图1中滑杆、滑套和横杆的连接关系结构示意图。图3为图1中弧形板、横杆和第二齿轮的连接关系结构示意图。图4为图1中丝杆、滑块和第二电机的连接关系结构示意图。图中：1、第一外壳，2、粗杆，3、第二外壳，4、夹持装置，401、滑杆，402、滑套，403、横杆，404、竖杆，405、厚板，406、弧形板，407、窄板，408、第一齿轮，409、第二齿轮，410、第一电机，411、支架，5、喷洒装置，501、水箱，502、斜管，503、水泵，6、清理装置，601、第二电机，602、丝杆，603、套筒，604、毛刷，605、滑块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳1、粗杆2和第二外壳3，第一外壳1的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆2，粗杆2可通过轴承转动，两个粗杆2的内侧均固接有第二外壳3，两个第二外壳3的内部均设有夹持装置4，夹持装置4包括滑杆401、滑套402、横杆403、竖杆404、厚板405、弧形板406、窄板407、第一齿轮408、第二齿轮409、第一电机410和支架411，滑杆401的底部与左侧第二外壳3的内壁底部左侧固定连接，滑杆401的外壁滑动卡接有滑套402，滑套402可在滑杆401的外壁运动，滑套402的右侧固接有横杆403，横杆403的右侧内壁滑动卡接有竖杆404，横杆403可在竖杆404的外壁运动，竖杆404的底部与第二外壳3的内壁底部右侧固定连接，横杆403的右侧固接有厚板405，横杆403的正面通过销轴转动相连有弧形板406，弧形板406可通过销轴转动，弧形板406的顶部通过销轴转动相连有窄板407，窄板407的后端面销轴固接有第一齿轮408，第一齿轮408的后端面通过销轴与第二外壳3的内壁后端面转动相连，第一齿轮408的左侧啮合相连有第二齿轮409，第一齿轮408转动时可带动第二齿轮409转动，第二齿轮409的后端面与第一电机410的输出端固定连接，第一电机410的型号为SM80-D601930，第一电机410的左侧通过支架411与第二外壳3的内壁左侧固定连接，滑杆401和滑套402构成滑动限位机构，使横杆403运动更加稳定，两个弧形板406关于第一齿轮408呈中心对称，使两侧位置相同，防止运动时发生侧偏；第一外壳1的顶部左右两侧均设有喷洒装置5，喷洒装置5包括水箱501、斜管502和水泵503，两个水箱501的底部分别与第一外壳1的顶部左右两侧固定连接，两个水箱501的内侧均连通有斜管502，两个斜管502的内侧与第一外壳1的顶部左右两侧相连通，两个斜管502的内端均固接有水泵503，两个水箱501的顶部均安装有橡胶塞，可方便向其中加入清洗液，第一外壳1的内部上方设有清理装置6，清理装置6包括第二电机601、丝杆602、套筒603、毛刷604和滑块605，第二电机601的左侧与第一外壳1的内壁左侧顶部固定连接，第二电机601的输出端固接有丝杆602，第二电机601的型号为SM80-D601930，丝杆602的外壁滑动卡接有套筒603，套筒603的内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳（1）、粗杆（2）和第二外壳（3），所述第一外壳（1）的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆（2），两个所述粗杆（2）的内侧均固接有第二外壳（3），其特征在于：两个所述第二外壳（3）的内部均设有夹持装置（4）；/n所述夹持装置（4）包括滑杆（401）、滑套（402）、横杆（403）、竖杆（404）、厚板（405）、弧形板（406）、窄板（407）、第一齿轮（408）、第二齿轮（409）、第一电机（410）和支架（411）；/n所述滑杆（401）的底部与左侧第二外壳（3）的内壁底部左侧固定连接，所述滑杆（401）的外壁滑动卡接有滑套（402），所述滑套（402）的右侧固接有横杆（403），所述横杆（403）的右侧内壁滑动卡接有竖杆（404），所述竖杆（404）的底部与第二外壳（3）的内壁底部右侧固定连接，所述横杆（403）的右侧固接有厚板（405），所述横杆（403）的正面通过销轴转动相连有弧形板（406），所述弧形板（406）的顶部通过销轴转动相连有窄板（407），所述窄板（407）的后端面销轴固接有第一齿轮（408），所述第一齿轮（408）的后端面通过销轴与第二外壳（3）的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮（408）的左侧啮合相连有第二齿轮（409），所述第二齿轮（409）的后端面与第一电机（410）的输出端固定连接，所述第一电机（410）的左侧通过支架（411）与第二外壳（3）的内壁左侧固定连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种圆形金属靶材除杂装置，包括第一外壳（1）、粗杆（2）和第二外壳（3），所述第一外壳（1）的左右两侧下方均通过轴承转动相连有两个粗杆（2），两个所述粗杆（2）的内侧均固接有第二外壳（3），其特征在于：两个所述第二外壳（3）的内部均设有夹持装置（4）；
所述夹持装置（4）包括滑杆（401）、滑套（402）、横杆（403）、竖杆（404）、厚板（405）、弧形板（406）、窄板（407）、第一齿轮（408）、第二齿轮（409）、第一电机（410）和支架（411）；
所述滑杆（401）的底部与左侧第二外壳（3）的内壁底部左侧固定连接，所述滑杆（401）的外壁滑动卡接有滑套（402），所述滑套（402）的右侧固接有横杆（403），所述横杆（403）的右侧内壁滑动卡接有竖杆（404），所述竖杆（404）的底部与第二外壳（3）的内壁底部右侧固定连接，所述横杆（403）的右侧固接有厚板（405），所述横杆（403）的正面通过销轴转动相连有弧形板（406），所述弧形板（406）的顶部通过销轴转动相连有窄板（407），所述窄板（407）的后端面销轴固接有第一齿轮（408），所述第一齿轮（408）的后端面通过销轴与第二外壳（3）的内壁后端面转动相连，所述第一齿轮（408）的左侧啮合相连有第二齿轮（409），所述第二齿轮（409）的后端面与第一电机（410）的输出端固定连接，所述第一电机（410）的左侧通过支架（411）与第二外壳（3）的内壁左侧固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种圆形金属靶材除杂装置，其特征在于：所述滑杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：胥小勇，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35