一种溅射靶材包覆封存装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及靶材封存装置技术领域，特别涉及一种溅射靶材包覆封存装置，包括加工台，所述加工台上表面一端设置有用于输送靶材的输送组件，所述加工台的下方远离输送组件的一端转动连接有基板，所述基板上活动设置有扩袋机构，所述扩袋机构上设置有封口组件，所述扩袋机构包括两个平行设置的扩袋座，所述扩袋座上表面垂直焊接有凹型座

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材包覆封存装置


[0001]本专利技术涉及靶材封存装置
，具体为一种溅射靶材包覆封存装置
。

技术介绍

[0002]靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度
、
不同输出波形
、
不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应
。
例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜
、
铝膜等
。
更换不同的靶材
(
如铝
、
铜
、
不锈钢
、
钛
、
镍靶等
)
，即可得到不同的膜系
(
如超硬
、
耐磨
、
防腐的合金膜等
)。
[0003]目前靶材在使用结束并清理完毕之后，由于靶材的材质易氧化，当清洁后需要将靶材采用真空密封塑料袋进行封存，减少靶材表面的氧化，目前一般都是采人工进行封存，效率低下，劳动强度较大
。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种溅射靶材包覆封存装置
。
[0005]本专利技术采用以下技术方案，一种溅射靶材包覆封存装置，包括加工台，所述加工台上表面一端设置有用于输送靶材的输送组件，所述加工台的下方远离输送组件的一端转动连接有基板，所述基板上活动设置有扩袋机构，所述扩袋机构上设置有封口组件；
[0006]所述扩袋机构包括两个平行设置的扩袋座，所述扩袋座上表面垂直焊接有凹型座，所述凹型座的两个竖直端外壁顶端上垂直焊接有条形座，所述条形座远离凹型座的一端上表面螺栓固定有第一电动推杆，所述第一电动推杆的伸缩端贯穿条形座延伸到外侧并安装有压板；
[0007]所述封口组件包括连接座，所述连接座焊接固定在两个条形座之间，所述连接座上表面中心处安装有凹型架，所述凹型架内通过转轴转动连接有封口架，所述封口架的另一端上表面螺栓固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端贯穿封口架延伸到外侧并螺栓固定有电热板，所述凹型架一侧壁上螺栓固定有带动封口架转动的伺服电机
。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：所述基板上表面沿长度方向开设有两个相互平行的条形槽，所述两个条形槽内均转动连接有双向丝杠，所述双向丝杠的两端分别对称螺纹连接有两个丝杠螺母座，且两个丝杠螺母座分别与两个平行设置的扩袋座相互固接，所述基板沿长度方向的一端螺栓固定有带动双向丝杠转动丝杠电机
。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：所述基板上焊接有固定轴，所述固定轴的两端转动连接有固定座，所述固定座焊接固定在加工台的下表面，所述固定座一侧壁上螺栓固定有带动固定轴转动的驱动电机
。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：所述加工台上表面位于输送组件的一侧开设有下料口，所述加工台上表面与下料口相对的位置焊接有导流罩，所述基板上开设有配合下料口的通孔
。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：所述加工台下表面中心处设置有抽真空组件，
所述抽真空组件包括条形块，所述条形块焊接固定在加工台下表面，所述条形块下表面沿长度方向开设有两个平行的条形滑槽，两个所述条形滑槽内均滑动连接有第二滑块，两个第二滑块之间焊接有抽真空座，所述抽真空座内安装有真空泵，所述真空泵的一端导通连接有吸气管，所述真空泵的另一端导通连接有排气管
。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：所述条形块下表面一端固定有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的另一端螺栓固定有推动架，所述推动架为凹型结构，所述推动架与条形块固接
。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：所述输送组件包括凹型输送架，所述凹型输送架内部沿长度方向的两端转动连接有两个输送辊，两个所述输送辊之间绕接有输送带，所述凹型输送架的外壁上螺栓固定有带动输送辊转动的输送电机
。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：所述加工台下表面四个拐角处螺栓固定有支腿，所述加工台下表面位于基板的两侧对称焊接有两个弧形板，所述弧形板上开设有弧形滑槽，所述基板上焊接有第一滑块，所述第一滑块与弧形滑槽滑动连接
。
[0015]在上述技术方案中，本专利技术提供的一种溅射靶材包覆封存装置，在使用时，首先通过扩袋机构自动对封装袋进行扩张固定，然后配合输送组件自动将靶材输送到扩袋机构撑开的封装袋内，再配合抽真空组件和封口组件自动实现对封装袋进行抽真空和封口，从而实现自动对靶材进行包装，提高其包装效率，降低劳动强度；
[0016]进一步的，该溅射靶材包覆封存装置，将扩袋机构固定在壳转动的基板上，在套袋固定时，可以控制基板转动到与加工台相互垂直的位置，从而使得套袋时，扩袋机构转动到加工台的外侧，不会受到加工台的阻挡，然后将封装袋套设在两个扩袋座上，控制第一电动推杆伸长带动压板下移对封装袋进行夹持固定，实现封装袋的快速固定
。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释：
[0018]图1为本专利技术实施例提供的一种溅射靶材包覆封存装置的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术实施例提供的基板的结构示意图；
[0020]图3为本专利技术实施例提供的图2中的
A
区放大图；
[0021]图4为本专利技术实施例提供的图2中的
B
区放大图；
[0022]图5为本专利技术实施例提供的抽真空组件的结构示意图；
[0023]图6为本专利技术实施例提供的一种溅射靶材包覆封存装置的拆分结构示意图；
[0024]图7为本专利技术实施例提供的一种溅射靶材包覆封存装置的截面示意图
。
[0025]图中：
1、
加工台；
11、
下料口；
2、
输送组件；
21、
凹型输送架；
22、
输送辊；
23、
输送带；
3、
导流罩；
4、
基板；
41、
条形槽；
42、
丝杠螺母座；
43、
双向丝杠；
44、
丝杠电机；
45、
第一滑块；
46、
固定座；
47、
固定轴；
48、
驱动电机；
5、
扩袋机构；
51、
扩袋座；
52、
凹型座；
53、
条形座；
54、
第一电动推杆；
55、
压板；
6、
封口组件；
61、
连接座；
62、
凹型架；
63、
伺服电机；
64、
封口架；
65、
第二电动推杆；
66、
电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种溅射靶材包覆封存装置，包括加工台
(1)
，其特征在于：所述加工台
(1)
上表面一端设置有用于输送靶材的输送组件
(2)
，所述加工台
(1)
的下方远离输送组件
(2)
的一端转动连接有基板
(4)
，所述基板
(4)
上活动设置有扩袋机构
(5)
，所述扩袋机构
(5)
上设置有封口组件
(6)
；所述扩袋机构
(5)
包括两个平行设置的扩袋座
(51)
，所述扩袋座
(51)
上表面垂直焊接有凹型座
(52)
，所述凹型座
(52)
的两个竖直端外壁顶端上垂直焊接有条形座
(53)
，所述条形座
(53)
远离凹型座
(52)
的一端上表面螺栓固定有第一电动推杆
(54)
，所述第一电动推杆
(54)
的伸缩端贯穿条形座
(53)
延伸到外侧并安装有压板
(55)
；所述封口组件
(6)
包括连接座
(61)
，所述连接座
(61)
焊接固定在两个条形座
(53)
之间，所述连接座
(61)
上表面中心处安装有凹型架
(62)
，所述凹型架
(62)
内通过转轴转动连接有封口架
(64)
，所述封口架
(64)
的另一端上表面螺栓固定有第二电动推杆
(65)
，所述第二电动推杆
(65)
的伸缩端贯穿封口架
(64)
延伸到外侧并螺栓固定有电热板
(66)
，所述凹型架
(62)
一侧壁上螺栓固定有带动封口架
(64)
转动的伺服电机
(63)。2.
根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述基板
(4)
上表面沿长度方向开设有两个相互平行的条形槽
(41)
，两个所述条形槽
(41)
内均转动连接有双向丝杠
(43)
，所述双向丝杠
(43)
的两端分别对称螺纹连接有两个丝杠螺母座
(42)
，且两个丝杠螺母座
(42)
分别与两个平行设置的扩袋座
(51)
相互固接，所述基板
(4)
沿长度方向的一端螺栓固定有带动双向丝杠
(43)
转动丝杠电机
(44)。3.
根据权利要求1所述的一种溅射靶材包覆封存装置，其特征在于，所述基板
(4)
上焊接有固定轴
(47)
，所述固定轴
(47)
的两端转动连接有固定座
(46)
，所述固定座
(46)
焊接固定在加工台
(1)
的下表面，所述固定座
(46)
一侧壁上螺栓固定有带动固定轴
(...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂培堤，肖成绩，涂翠金，涂尊铭，陈怡姿，
申请(专利权)人：福建瓦能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：