一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法技术

本发明专利技术公开了一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，具体包括以下步骤：S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；本发明专利技术涉及晶圆技术领域。该12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，将填充氮气功能集成于外抽式真空包装机上，整个包装流程通过一站式完成，确保空气被最大限度的排除，减少中间流转过程，使FOSB晶舟盒和包装袋内都是惰性气体氮气，这样可以确保晶圆产品的安全性。保晶圆产品的安全性。保晶圆产品的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法


[0001]本专利技术涉及晶圆
，具体为一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法。

技术介绍

[0002]现发现封测厂久置晶圆不论是抽真空包装好后放置于无尘室，还是存储于无尘室氮气柜中，都会出现部分晶圆片表面氧化发黄的现象。经调查发现，晶舟盒(FOSB)不密封，市面上的真空包装袋有尼龙材质，尼龙有吸水特性，因此真空包装后还是会有水汽进入真空包装袋中的晶舟盒内，晶圆接触水汽后发生氧化反应，有概率性的出现发黄现象，影响产品品质。
[0003]市面上有一款STANDLONEFOUP/FOSB净化气体填充设备，用于制程后段以及封装，主要功能为延长Q
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Time设计的氮气充气产品，其不同点在于使用的FOUP为FOSB(FrontOpenShippingBox)，其进出气点只有单一个孔，为单进单出的形式。
[0004]STANDLONEFOUP/FOSB净化气体填充设备为持续充氮气设备，因无法保证FOSB完全密封(FOSB上盖有密封圈，但仍然会有漏气现象)，空气质量大于氮气，一旦离开该设备，单独放置于空气中，晶舟盒内的氮气将在3分钟内将被外界空气排挤出，空气污染物随之进入FOSB内，晶圆表面有被氧化风险。现有部分工厂使用该设备给FOSB内充氮气后，再由真空包装机进行简单的外包装，只能保证产品氧化数量减少，无法杜绝，根本问题在于FOSB充氮气后再流转至包装机包装的过程仍然有空气进入。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，解决了传统晶舟盒内晶圆容易出现氧化的问题。
[0006]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，具体包括以下步骤：
[0007]S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；
[0008]S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；
[0009]S3、确认FOSB晶舟盒内氮气充填完毕后，关闭充气功能，将FOSB填充气体口与包装机上FOSB充氮气嘴分离，将FOSB晶舟盒与干燥剂一同放入包装袋，真空包装机开启包装功能；
[0010]S4、包装袋口放入真空包装机密封条下，包住真空包装袋抽真空/充氮气气嘴，开启包装机自动包装模式，完成包装，包装机停止；
[0011]S5、将FOSB晶舟盒从包装机工作平台上取下，放置于物架半小时，观察没有漏气，完成包装。
[0012]优选的，所述S1中，填充氮气流量以8L/min充入32升FOSB晶舟盒内。
[0013]优选的，所述S2中，如果抽气时湿度<3％，继续充氮气1min后，停止工作，若湿度>5％，说明晶舟盒内仍然残存空气，需继续充氮气2min，再抽气充气直至湿度<3％。
[0014]优选的，所述S3中，干燥剂是硫酸钙和氯化钙中的任意一种。
[0015]优选的，所述S4中，包装机自动包装模式开启后，反复充氮气和抽气模式3次，热封12S，然后冷却10S后完成包装。
[0016]优选的，所述S5中，发现漏气情况，检查漏气原因，然后重新完成包装。
[0017]有益效果
[0018]本专利技术提供了一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法。与现有技术相比具备以下有益效果：
[0019]该12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，通过S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；将填充氮气功能集成于外抽式真空包装机上，整个包装流程通过一站式完成，确保空气被最大限度的排除，减少中间流转过程，使FOSB晶舟盒和包装袋内都是惰性气体氮气，这样可以确保晶圆产品的安全性。
附图说明
[0020]图1为本专利技术FOSB晶舟盒模拟外观图；
[0021]图2为本专利技术FOSB晶舟盒俯视图；
[0022]图3为本专利技术真空包装机外观图。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]请参阅图1
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3，本专利技术提供一种技术方案：一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，具体包括以下步骤：
[0025]S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；
[0026]S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；
[0027]S3、确认FOSB晶舟盒内氮气充填完毕后，关闭充气功能，将FOSB填充气体口与包装机上FOSB充氮气嘴分离，将FOSB晶舟盒与干燥剂一同放入包装袋，真空包装机开启包装功能；
[0028]S4、包装袋口放入真空包装机密封条下，包住真空包装袋抽真空/充氮气气嘴，开
启包装机自动包装模式，完成包装，包装机停止；
[0029]S5、将FOSB晶舟盒从包装机工作平台上取下，放置于物架半小时，观察没有漏气，完成包装。
[0030]同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
[0031]本专利技术中，所述S1中，填充氮气流量以8L/min充入32升FOSB晶舟盒内。
[0032]本专利技术中，所述S2中，如果抽气时湿度<3％，继续充氮气1min后，停止工作，若湿度>5％，说明晶舟盒内仍然残存空气，需继续充氮气2min，再抽气充气直至湿度<3％。。
[0033]本专利技术中，所述S3中，干燥剂是硫酸钙和氯化钙中的任意一种。
[0034]本专利技术中，所述S4中，包装机自动包装模式开启后，反复充氮气和抽气模式3次，热封12S，然后冷却10S后完成包装。
[0035]本专利技术中所述S5中，发现漏气情况，检查漏气原因，然后重新完成包装。
[0036]该专利技术是将在FOSB晶舟盒放置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种12吋FOSB晶舟盒内晶圆防氧化方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S1、将FOSB晶舟盒放置于包装机工作平台左侧，将FOSB晶舟盒填充气体口与FOSB充氮气气嘴对接，启动真空包装机，通过电脑软件控制开启充氮模式，空气将在上盖与FOSB接缝处排除；S2、真空包装机事先在FOSB充氮气气嘴口处安装湿度感应器，当充氮气4mins后，转换成抽气模式，抽气30S，通过湿度变化确认FOSB晶舟盒内空气被排除；S3、确认FOSB晶舟盒内氮气充填完毕后，关闭充气功能，将FOSB填充气体口与包装机上FOSB充氮气嘴分离，将FOSB晶舟盒与干燥剂一同放入包装袋，真空包装机开启包装功能；S4、包装袋口放入真空包装机密封条下，包住真空包装袋抽真空/充氮气气嘴，开启包装机自动包装模式，完成包装，包装机停止；S5、将FOSB晶舟盒从包装机工作平台上取下，放置于物架半小时，观察没有漏气，完成包装。2.根据权利要求1所述的一种12吋FOSB...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晨健，魏加杰，卢凤军，杨超，
申请(专利权)人：徐州上达芯源半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：