【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种连续式水平溅镀机传输机构。
技术介绍
连续式水平溅镀机是一种在高真空条件下，利用气体放电产生的荷能离子在电场的作用下高速轰击阴极靶材，使靶材原子和分子逸出而沉积到基片上形成薄膜的机器，传输马达带动链条转动从而带动传输导轮使载盘前进的传输方式被广泛应用，如图I和图2所示，目前连续式水平溅镀机所使用的这种传输方式，在长时间的传输过程中经常会出现传输载盘传动受阻和卡在两侧侧面导向轴承之间的设备故障，造成生产停止，使维护成本提高，如果不能及时处理，会浪费大量的人力和物力，最终造成生产成本的提高
技术实现思路
目的为了克服现有技术中存在的不足，解决现有技术中正常生产时载盘在传输过程中发生跑偏而卡住载盘而使生产停止的问题，本专利技术提供一种连续式水平溅镀机传输机构，使用方便，结构简单，成本低，能有效的降低溅镀腔的传动故障率，提高了机台的稼动率并节约了大量的劳动力与生产成本。技术方案为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。所述侧面导向支撑为长条形结构，材质为不锈钢。所述传输载盘的四个角为圆角。有益效果本专利技术提供的连续式水平溅镀机传输机构，在传输侧面增加侧面导向支撑结构，侧面导向轴承安装在里面只露出小部分外径大大减少了溅镀粉尘进入侧面导向轴...
【技术保护点】
连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于:所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空结构，侧面导向轴承安装在所述侧面导向支撑内部外露部分外径。
【技术特征摘要】
1.连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支撑，所述侧面导向支撑为内空...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄国兴，费文池，王光华，姜建峰，
申请(专利权)人：赫得纳米科技昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：
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