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本发明公开了一种连续式水平溅镀机传输机构，包括传输马达、侧面导向轴承、传输胶轮、传输链条、传输主轴、传输支架和传输载盘，其特征在于：所述连续式水平溅镀机传输机构的传输侧面设置有用于保护侧面导向轴承和维持传输载盘在固定的轨道上传输的侧面导向支...
该专利属于赫得纳米科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫得纳米科技（昆山）有限公司授权不得商用。

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