一种溅镀空间可调的溅镀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种溅镀空间可调的溅镀机，溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述支撑杆沿所述通孔滑动，所述支撑杆带动所述安装板和所述阴极电极进行升降，从而调节溅镀空间的大小，使所述溅镀机可适应不同大小和不同需求工件，增强适用性。强适用性。强适用性。

【技术实现步骤摘要】
一种溅镀空间可调的溅镀机


[0001]本技术涉及溅镀设备
，具体的是一种溅镀空间可调的溅镀机。

技术介绍

[0002]溅镀是指在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，现有的溅镀装置其溅镀空间不可调节，在遇到不同大小或不同需求的工件时，无法做出相应的调整，因此，急需提供一种溅镀空间可调的溅镀机。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种溅镀空间可调的溅镀机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本申请实施例公开了：一种溅镀空间可调的溅镀机，包括溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构。
[0005]优选的，所述溅镀仓的底部连接有箱体，所述驱动机构位于所述箱体内，所述驱动机构包括横向设于所述箱体内的螺纹杆，所述螺纹杆的两端可转动连接在箱体的内壁上，所述螺纹杆连接有伺服电机，所述箱体内可转动连接有两个与所述螺纹杆啮合的齿轮，两个所述齿轮关于所述支撑杆对称，所述齿轮的上方可转动连接有与之啮合的端面齿轮，所述端面齿轮的上端面连接有转轴，所述转轴的顶端通过万向接头连接有套筒的一端，所述套筒的内壁设有螺纹，所述套筒内连接有与之匹配的丝杆，所述丝杆靠近所述支撑杆的一端通过销轴可转动连接所述支撑杆的底端。
[0006]优选的，所述通孔的周面与所述支撑杆的周面之间连接有绝缘密封垫圈，所述绝缘密封垫圈固定在所述通孔的周面上。
[0007]优选的，所述溅镀仓的顶部连接有储气罐，所述储气罐通过输气泵与所述溅镀气体入口连接。
[0008]优选的，所述排气口连接有抽真空泵，所述抽真空泵通过支架连接在所述溅镀仓的外壁上。
[0009]本技术的有益效果如下：所述伺服电机通过所述螺纹杆、所述齿轮和所述端面齿轮驱动所述转轴旋转，所述转轴通过所述万向接头驱动所述套筒旋转，所述铜套驱动所述丝杆进行伸缩，进而使所述丝杆推动所述支撑杆，带动所述安装板和所述阴极电极进行升降，从而调节溅镀空间的大小，使所述溅镀机可适应不同大小和不同需求工件，增强适用性。
[0010]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实
施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1是一种溅镀空间可调的溅镀机结构示意图。
[0013]以上附图的附图标记：1、溅镀仓；2、溅镀气体入口；3、排气口；4、阳极电极；5、阴极电极；6、安装板；7、支撑杆；8、通孔；9、螺纹杆；10、齿轮；11、端面齿轮；12、转轴；13、万向接头；14、套筒；15、丝杆；16、绝缘密封垫圈；17、储气罐；18、输气泵；19、抽真空泵。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]参阅图1，一种溅镀空间可调的溅镀机，包括溅镀仓1，所述溅镀仓1的一侧连接有溅镀气体入口2，所述溅镀仓1的另一侧连接有抽真空排气口3，所述溅镀仓1顶部的下端面上连接有阳极电极4，所述溅镀仓1底部的下端面上连接有阴极电极5，所述阴极电极5的底部连接有安装板6，所述安装板6的下端面连接有支撑杆7，所述溅镀仓1的底部设有与所述支撑杆7匹配的通孔8，所述支撑杆7可滑动连接在所述通孔8内，所述支撑杆7的底端连接有驱动机构。
[0016]所述溅镀仓1的底部连接有箱体，所述驱动机构位于所述箱体内，所述箱体可对所述驱动机构起到保护作用，所述驱动机构包括横向设于所述箱体内的螺纹杆9，所述螺纹杆9的两端可转动连接在箱体的内壁上，所述螺纹杆9连接有伺服电机，所述箱体内可转动连接有两个与所述螺纹杆9啮合的齿轮10，两个所述齿轮10关于所述支撑杆7对称，所述齿轮10的上方可转动连接有与之啮合的端面齿轮11，所述端面齿轮11的上端面连接有转轴12，所述转轴12的顶端通过万向接头13连接有套筒14的一端，所述万向接头13用于改变所述转轴12的传动轴线方向，确保所述转轴12可向所述套筒14传递扭矩，所述套筒14的内壁设有螺纹，所述套筒14内连接有与之匹配的丝杆15，所述丝杆15靠近所述支撑杆7的一端通过销轴可转动连接所述支撑杆7的底端，所述伺服电机驱动所述螺纹杆9旋转，所述螺纹杆9通过所述齿轮10驱动所述端面齿轮11旋转，所述端面齿轮11带动所述转轴12自转，所述转轴12通过所述万向接头13驱动所述套筒14自转，所述套筒14通过其内壁的螺纹驱动所述丝杆15沿其轴向滑动，所述丝杆15推动所述支撑杆7带动所述安装板6进行升降，从而调节所述阴极电极5和所述阳极电极4之间的距离，从而调节溅镀空间的大小。
[0017]所述通孔8的周面与所述支撑杆7的周面之间连接有绝缘密封垫圈16，所述绝缘密封垫圈16固定在所述通孔8的周面上，所述绝缘密封垫圈16可防止溅镀气体泄露。
[0018]所述溅镀仓1的顶部连接有储气罐17，所述储气罐17通过输气泵18与所述溅镀气
体入口2连接。
[0019]所述排气口3连接有抽真空泵19，所述抽真空泵19通过支架连接在所述溅镀仓1的外壁上。
[0020]所述溅镀机的使用过程如下：所述伺服电机驱动所述螺纹杆9旋转，所述螺纹杆9通过所述齿轮10驱动所述端面齿轮11旋转，所述端面齿轮11带动所述转轴12自转，所述转轴12通过所述万向接头13驱动所述套筒14自转，所述套筒14通过其内壁的螺纹驱动所述丝杆15沿其轴向滑动，所述丝杆15推动所述支撑杆7带动所述安装板6进行升降，从而调节所述阴极电极5和所述阳极电极4之间的距离，从而调节溅镀空间的大小，使其可适应不同大小或不同需求的工件，适用性更强。
[0021]本技术中应用了具体实施例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：包括溅镀仓，所述溅镀仓的一侧连接有溅镀气体入口，所述溅镀仓的另一侧连接有抽真空排气口，所述溅镀仓顶部的下端面上连接有阳极电极，所述溅镀仓底部的下端面上连接有阴极电极，所述阴极电极的底部连接有安装板，所述安装板的下端面连接有支撑杆，所述溅镀仓的底部设有与所述支撑杆匹配的通孔，所述支撑杆可滑动连接在所述通孔内，所述支撑杆的底端连接有驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种溅镀空间可调的溅镀机，其特征在于：所述溅镀仓的底部连接有箱体，所述驱动机构位于所述箱体内，所述驱动机构包括横向设于所述箱体内的螺纹杆，所述螺纹杆的两端可转动连接在箱体的内壁上，所述螺纹杆连接有伺服电机，所述箱体内可转动连接有两个与所述螺纹杆啮合的齿轮，两个所述齿轮关于所述支撑杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王光华，
申请(专利权)人：赫得纳米科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：