一种适用于光学透镜的真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器，其特征在于：溅射镀膜发生器设有圆形的喷口平台，喷口平台设有同心的溅射出口，溅射镀膜发生器连接有基片架，基片架连接有电机，电机连接有第一齿轮，基片架转动连接有齿轮结构，齿轮结构内圈连接有预盛放机构；基片架设有定位底座，定位底座设有圆孔，定位底座的外圈连接有外圆环，外圆环连接有支撑柱，支撑柱连接有定位圆环，定位圆环的下方粘接有防护片；齿轮结构内圈设有圆环，齿轮结构外圈设有转动底座，转动底座与环形槽间隙配合；预盛放机构上方设有提手，预盛放机构为环状，预盛放机构内圈下方设有限位口，限位口连接有坡口。接有坡口。接有坡口。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于光学透镜的真空镀膜装置


[0001]本技术属于镀膜
，具体涉及一种适用于光学透镜的真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]当光线进入不同的传递物质时，大约有5％会被反射掉，为降低反射率，现代技术通常会在透镜上采用真空镀膜来提高透光率和耐磨性，真空镀膜技术主要分为蒸发镀，溅射镀以及离子镀等方式。真空溅射镀膜可以理解为，利用电子或高能激光轰击靶材，使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，最终沉积在基片表面，形成薄膜。现有的溅射镀膜设备，在夹持基片时，存在基片放置与溅射口不同心的问题，这导致基片镀膜时，靶材在透镜的一侧过度沉积，造成镀膜分布不均匀，影响镀膜质量，另外，真空镀膜时，需要内部仪器具有一定的清洁度，避免杂质随靶材一同附着在透镜上，影响镀层效果，然而现有的镀膜设备都比较难以拆装，造成难以清洗内部结构，最后，很少有镀膜设备设置取放镜片的结构，往往采用直接接触式的取放方法，容易造成镀层污染。

技术实现思路

[0003]针对上述
技术介绍
所提出的问题，本技术的目的是：旨在提供一种适用于光学透镜的真空镀膜装置。
[0004]为实现上述技术目的，本技术采用的技术方案如下：
[0005]一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器，其特征在于：所述溅射镀膜发生器设有圆形的喷口平台，所述喷口平台设有同心的溅射出口，所述溅射镀膜发生器连接有基片架，所述基片架连接有电机，所述电机连接有第一齿轮，所述基片架转动连接有齿轮结构，所述齿轮结构内圈连接有预盛放机构，所述齿轮结构和基片架之间连接有转动环；
[0006]所述基片架设有定位底座，所述定位底座设有圆孔，所述圆孔的直径等于喷口平台的直径，所述定位底座的外圈连接有外圆环，所述外圆环连接有支撑柱，所述支撑柱连接有定位圆环，所述定位圆环的内圈直径同样等于喷口平台的直径，所述定位圆环的下方粘接有防护片；
[0007]所述齿轮结构内圈设有圆环，所述齿轮结构外圈设有转动底座，所述转动底座与环形槽间隙配合；
[0008]所述预盛放机构上方设有提手，所述预盛放机构为环状，所述预盛放机构内圈下方设有限位口，所述限位口连接有坡口；
[0009]所述第一齿轮的齿数为二，所述第一齿轮可与齿轮结构啮合。
[0010]进一步限定，所述溅射镀膜发生器设有销孔，所述基片架和溅射镀膜发生器之间连接有快换销钉，这样的结构设计，便于在拆卸装配基片架时，可以通过快换销钉和销孔的配合，快速完成拆装，避免复杂的操作步骤。
[0011]进一步限定，所述转动环转动连接于环形槽内，所述转动环设有滚珠，这样的结构
设计，使得齿轮结构在转动环上转动时，通过滚珠将滑动摩擦转变为滚动摩擦。
[0012]进一步限定，所述电机通过接插件进行上电，这样的结构设计，使得在拆装电机时，可以通过接插件快速完成电机的分离和连接。
[0013]进一步限定，所述齿轮结构内圈设有限位槽，所述预盛放机构外圈设有可与限位槽匹配的限位条，这样的结构设计，通过限位条与限位槽的匹配，完成齿轮结构对预盛放机构的动力传递。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]1.透镜放置时，与溅射口的同心度较好，避免了靶材在透镜的一侧过度沉积，造成镀膜分布不均匀；
[0016]2.镀膜设备容易拆装，便于清洗内部结构；
[0017]3.通过提手来取放透镜，避免污染透镜和镀层。
附图说明
[0018]本技术可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；
[0019]图1为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例的第一结构示意图；
[0020]图2为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例的第二结构示意图；
[0021]图3为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例的剖面图；
[0022]图4为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例中A处的剖面图；
[0023]图5为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例中齿轮结构的结构示意图；
[0024]图6为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例中预盛放机构的结构示意图；
[0025]图7为本技术一种适用于光学透镜的真空镀膜装置实施例中转动环的结构示意图；
[0026]主要元件符号说明如下：
[0027]溅射镀膜发生器1、溅射出口11、喷口平台12、快换销钉13、基片架2、定位底座23、外圆环24、支撑柱25、定位圆环26、防护片27、转动环3、滚珠31、齿轮结构4、限位槽41、圆环42、转动底座43、电机5、第一齿轮51、预盛放机构6、限位口61、坡口62、提手63、限位条64。
具体实施方式
[0028]为了使本领域的技术人员可以更好地理解本技术，下面结合附图和实施例对本技术技术方案进一步说明。
[0029]如图1
‑
7所示，本技术的一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器1，其特征在于：溅射镀膜发生器1设有圆形的喷口平台12，喷口平台12设有同心的溅射出口11，溅射镀膜发生器1连接有基片架2，基片架2连接有电机5，电机5连接有第一齿轮51，基片架2转动连接有齿轮结构4，齿轮结构4内圈连接有预盛放机构6，齿轮结构4和基片架2之间连接有转动环3；
[0030]基片架2设有定位底座23，定位底座23设有圆孔，圆孔的直径等于喷口平台12的直径，定位底座23的外圈连接有外圆环24，外圆环24连接有支撑柱25，支撑柱25连接有定位圆环26，定位圆环26的内圈直径同样等于喷口平台12的直径，定位圆环26的下方粘接有防护片27；
[0031]齿轮结构4内圈设有圆环42，齿轮结构4外圈设有转动底座43，转动底座43与环形槽22间隙配合；
[0032]预盛放机构6上方设有提手63，预盛放机构6为环状，预盛放机构6内圈下方设有限位口61，限位口61连接有坡口62；
[0033]第一齿轮51的齿数为二，第一齿轮51可与齿轮结构4啮合。
[0034]本案实施中，定位圆环26和定位底座23同心，并且二者的直径与喷口平台12相等，喷口平台12又与溅射出口11同心，因此基片架2通过定位底座23放置在喷口平台12外圈时，定位圆环26即与溅射出口11同心，在制作基片架2时，为了保证定位圆环26和定位底座23同心，可以将定位圆环26和定位底座23套设在等直径的圆管上，进行拼接，从而保证二者的同心度；
[0035]进行溅射镀膜前，工作人员根据透镜的直径和弧度选用合适的预盛放机构6，坡口62适应透镜的弧度，限位口61适应透镜的直径，随后工作人员使用吸盘将透镜放置在预盛放机构6中，避免污染透镜表面，以及难以将透镜放入预盛放机构6，随后工作人员使用提手63将预盛放机构6放置在齿轮结构4中，圆环42将托起预盛放机构6；
[0036]放置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于光学透镜的真空镀膜装置，包括真空室和安装于真空室内的溅射镀膜发生器(1)，其特征在于：所述溅射镀膜发生器(1)设有圆形的喷口平台(12)，所述喷口平台(12)设有同心的溅射出口(11)，所述溅射镀膜发生器(1)连接有基片架(2)，所述基片架(2)连接有电机(5)，所述电机(5)连接有第一齿轮(51)，所述基片架(2)转动连接有齿轮结构(4)，所述齿轮结构(4)内圈连接有预盛放机构(6)，所述齿轮结构(4)和基片架(2)之间连接有转动环(3)；所述基片架(2)设有定位底座(23)，所述定位底座(23)设有圆孔，所述圆孔的直径等于喷口平台(12)的直径，所述定位底座(23)的外圈连接有外圆环(24)，所述外圆环(24)连接有支撑柱(25)，所述支撑柱(25)连接有定位圆环(26)，所述定位圆环(26)的内圈直径同样等于喷口平台(12)的直径，所述定位圆环(26)的下方粘接有防护片(27)；所述齿轮结构(4)内圈设有圆环(42)，所述齿轮结构(4)外圈设有转动底座(43)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮梓翔，
申请(专利权)人：苏州宏照光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：