一种冶金靶材制备用烧结装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种冶金靶材制备用烧结装置，包括固定辅助机构、加热机构和烧结机构，所述固定辅助机构的上端内侧设置有加热机构，所述加热机构的内部设置有烧结机构，该靶材制备用烧结装置通过烧结机构的设置，第一压柱和第二压柱的作用在于配合烧结腔，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，通过固定辅助机构的设置，靶材在密闭腔体中因缺乏氧气的接触与催化从而导致靶材的制备效率在一定程度上有所降低，因此流量泵的作用在于可通过氧气管对进料管中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率，通过加热机构的设置可对靶材进行均匀加热。置可对靶材进行均匀加热。置可对靶材进行均匀加热。

【技术实现步骤摘要】
一种冶金靶材制备用烧结装置


[0001]本技术涉及靶材制备
，具体为一种冶金靶材制备用烧结装置。

技术介绍

[0002]靶材是真空镀膜行业溅射用的常用机构，其多以高纯铜材料经过系列加工后的产品，具有特定的尺寸和形状高纯铜材料，由于高纯铜特别是超高纯铜具有许多优良的特性，已广泛应用于电子、通信、超导、航天等尖端领域，由于靶材的高精密性，在传统的靶材制备装置中对于靶材的生产效率方面依然有改进的空间
[0003]目前市面上常见的冶金靶材制备装置大多生产效率类似，且基本上每次只能对单一工位内的靶材进行铸造，这样便会导致靶材的生产效率始终处于较为低下的状态，为此，我们提出一种冶金靶材制备用烧结装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种冶金靶材制备用烧结装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种冶金靶材制备用烧结装置，包括固定辅助机构、加热机构和烧结机构，所述固定辅助机构的上端内侧设置有加热机构，所述加热机构的内部设置有烧结机构；r/>[0006]所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冶金靶材制备用烧结装置，包括固定辅助机构(1)、加热机构(2)和烧结机构(3)，其特征在于：所述固定辅助机构(1)的上端内侧设置有加热机构(2)，所述加热机构(2)的内部设置有烧结机构(3)，所述烧结机构(3)包括：石墨预制筒(301)，其设置于所述加热机构(2)内侧；烧结腔(302)，其开设于所述石墨预制筒(301)的边缘一圈；第一压柱(303)，其嵌合于所述烧结腔(302)的内壁上端；第一圆板(304)，其固定于所述第一压柱(303)的上端；第二压柱(305)，其嵌合于所述烧结腔(302)的内壁下端；第二圆板(306)，其固定于所述第二压柱(305)的下端；液压杆(307)，其设置于所述第一圆板(304)与第二圆板(306)的位于石墨预制筒(301)相反一侧。2.根据权利要求1所述的一种冶金靶材制备用烧结装置，其特征在于：所述第一压柱(303)和第二压柱(305)通过第一圆板(304)、第二圆板(306)及液压杆(307)与烧结腔(302)之间构成可伸缩结构，且烧结腔(302)沿石墨预制筒(301)的边缘一圈均匀分布。3.根据权利要求1所述的一种冶金靶材制备用烧结装置，其特征在于：所述固定辅助机构(1)包括：固定架(101)，其设置于所述加热机构(2)的外部；进料管(102)，其设置于所述固定架(101)内侧上端；电磁阀(103)，其设置于所述进料管(102)的斜上端；进料斗(104)，其设置于所述电磁阀(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹硕华，
申请(专利权)人：长沙鑫康新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：